"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Особенности колебательных спектров алмазоподобных и полимероподобных пленок a-C : H
Коншина Е.А.1, Вангонен А.И.1
1Всероссийский научный центр "ГОИ им. С.И. Вавилова", Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 16 февраля 2004 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 2005 г.

Дан сравнительный анализ инфракрасных спектров МНПВО в интервале 4000-1000 см-1 для алмазоподобных и полимероподобных пленок a-C : H с показателем преломления n>=q2.0 и n=<q1.7 соответственно. Пленки были получены методом химического осаждения в плазме тлеющего разряда на постоянном токе из октана, циклогексана, толуола и ацетилена при вариации условий осаждения. Обнаружены характерные особенности в колебательных спектрах пленок a-C : H с разным показателем преломления. Пик 1250 см-1 наблюдался в спектрах алмазоподобных пленок независимо от исходного углеводорода. Дополнительные пики 3400 и 1700 см-1, соответствующие колебаниям O-H и C=H, присутствуют в спектрах полимероподобных пленок. Показано, что интегральная интенсивность полосы CH-колебаний с максимумом ~2900 см-1 убывает экспоненциально на порядок величины при увеличении n в интервале от 1.55 до 2.4.
  1. Е.А. Коншина. ЖТФ, 72 (6), 35 (2002)
  2. V.A. Tolmachev, E.A. Konshina. Diamond Relat. Mater., 5, 1397 (1996)
  3. Е.А. Коншина. ФТТ, 37, 1120 (1995)
  4. Е.А. Коншина. ЖТФ, 70 (3), 87 (2000)
  5. Е.А. Коншина. ЖТФ, 68 (9), 59 (1998)
  6. Е.А. Коншина. Кристаллография, 40, 1074 (1995)
  7. Е.А. Коншина, А.П. Онохов. ЖТФ, 69 (3), 80 (1999)
  8. J. Zelez. RCA Rev., 43, 665 (1982)
  9. A. Bubenser, B. Dischler, G. Brandt, P. Koidl. J. Appl. Phys., 54, 4590 (1983)
  10. K. Enke. Appl. Optics, 24, 508 (1985)
  11. S.F. Pellicori, C.M. Peterson, T.P. Henson. J. Vac. Sci. Technol., A4, 2350 (1986)
  12. L. Klibanov, N.I. Croitoru, A. Seidman, V. Gilo, R. Dahan. Opt. Eng., 39, 989 (2000)
  13. М.В. Грязнова, И.И. Данилов, С.Г. Иванов, Е.А. Коншина, А.П. Онохов, М.А. Федоров, Н.А. Феоктистов, А.И. Хребтов. Сб. Трудов V Межд. конф. Прикладная оптика" (СПб., 2002) т. 1, с. 163
  14. Е.А. Коншина. ФТП, 33, 469 (1999)
  15. B. Dischler, A. Bubenzer, P. Koidl. Sol. St. Commun., 48, 105 (1983)
  16. Fangoing Zhang, Guanghua Chen, Yafei Zhang, Gong Yu. Phys. Status Solidi A, 109, K39 (1988)
  17. Е.А. Коншина. Опт.-мех. пром-сть, N 2, 15 (1987)
  18. R. Memming. Thin Sol. Films, 143, 279 (1986)
  19. Е.А. Коншина, А.В. Баранов, В.Б. Яковлев. ЖПС, 48, 957 (1988)
  20. А.И. Вангонен, Е.А. Коншина, В.А. Толмачев. ЖФХ, 71, 1102 (1997)
  21. Н. Харрик. Спектроскопия внутреннего отражения (М., Мир, 1970) с. 335
  22. В.Б. Яковлев, Л.К. Васильева, В.В. Веремей, Е.А. Коншина. ЖПС, 53, 863 (1990)
  23. M.P. Nadler, T.M. Donovan, A.K. Green. Thin Sol. Films, 116, 241 (1984)
  24. I. Watanabe, S. Hasegawa, Y. Kurato. Jap. J. Appl. Phys., 21, 856 (1982)
  25. D.R. McKenzie, R.C. McPhedran, N. Savvides, D.J.H. Cockayne. Thin Sol. Films, 108, 247 (1983)
  26. K. Walters, P. Honeybone, D.W. Huxley, R.J. Newport, W.S. Howells. Phys. Rev. B, 50, 831 (1994)
  27. M. Jager, J. Gottward, H.W. Spiess, R.J. Newport. Phys. Rev. B, 50, 84 (1994)
  28. J.R. Honeybone, R.J. Newport, J.K. Walters, W.S. Howells, J. Tomkinson. Phys. Rev. B, 50, 839 (1994)
  29. J. Robertson. Progr. Sol. St. Chem., 21, 199 (1991)
  30. А.В. Баранов, Е.А. Коншина. Опт. и спектр., 65, 856 (1988)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.