Грузинцев А.Н.1, Емельченко Г.А.2, Дулина Н.А.3, Ермолаева Ю.В.3, Толмачев А.В.3
1Институт проблем технологии микроэлектроники Российской академии наук, Черноголовка, Россия
2Институт физики твердого тела Российской академии наук, Черноголовка, Московская обл., Россия
3Институт монокристаллов Национальной академии наук Украины, Харьков, Украина
