"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Исследования морфологических особенностей роста и оптических характеристик многослойных образцов пористого кремния, выращенных на подложках n-типа с эпитаксиально нанесенным p+-слоем
Леньшин А.С.1, Кашкаров В.М.1, Середин П.В.1, Минаков Д.А.1, Агапов Б.Л.1, Кузнецова М.А.2, Мошников В.А.2, Домашевская Э.П.2
1Воронежский государственный университет, Воронеж, Россия
2Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина), Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 31 января 2012 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2012 г.

Исследованы особенности роста многослойного пористого кремния со слоями различной пористости, полученного электрохимическим травлением на пластине монокристаллического кремния n-типа (111) с эпитаксиально сформированным на поверхности p+-слоем. Установлена возможность получения многослойной системы упорядоченных пор различного размера в рамках одного технологического цикла и показаны различия в оптических характеристиках отдельных слоев полученной структуры.
  1. L.T. Canham. Appl. Phys. Lett., 57 (10), 1046 (1990)
  2. S. Chan. Ph.D Jhesis (University of Rochester, N. Y., 2000) p. 193
  3. O. Bisi, S. Ossicini, L. Pavesi. Surf. Sci. Rep., 38, 1 (2000)
  4. L. Pavesi, V. Mulloni. J. Luminesc., 80 (1--4), 43 (1999)
  5. B.M. Золотарев. Методы исследования материалов фотоники: элементы теории и техники / Учебное пособие (СПб., СПбГУ ИТМО, 2008)
  6. V.A Terekhov, V.M Kashkarov, E.Yu. Manukovskii, A.V Schukarev, E.P. Domashevskaya. J. Electron Spectrosc. Related Phenomena, 114, 895 (2001)
  7. А.С. Леньшин, В.М. Кашкаров, С.Ю. Турищев, М.С. Смирнов, Э.П. Домашевская. Письма ЖТФ, 37 (17), 1 (2011)
  8. V. Lehmann. Appl. Phys. Lett., 58, 856 (1991)
  9. V.P. Tolstoy, I.V. Chernyshova, V.A. Skryshevsky. Handbook of infrared spectroscopy of ultrathin films (Wiley Interscience, John Wiley\&Sons, Inc., 2003)
  10. А.С. Леньшин, В.М. Кашкаров, П.В. Середин, Ю.М. Спивак, В.А. Мошников. ФТП, 45 (9), 1229 (2011)
  11. G. Ledoux et al. Physical Review B, 62 (23), 15 943 (2000)
  12. G. Ledoux, J. Gong, F. Huisken, O. Guillois, C. Reynaud. Appl. Phys. Lett., 80, 4834 (2002)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.