"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Особенности подвижности электронов в тонком слое кремния в структуре диэлектрик-кремний-диэлектрик
Леонов А.В.1, Мокрушин А.Д.1, Омельяновская Н.М.1
1Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов Российской академии наук, Черноголовка, Россия
Поступила в редакцию: 3 октября 2011 г.
Выставление онлайн: 20 марта 2012 г.

Представлены результаты исследований подвижности электронов в тонком слое кремния системы металл-диэлектрик-полупроводник-диэлектрик-металл в зависимости от величины продольного и поперечного электрических полей (в широком диапазоне их значений), температуры (в диапазоне от 1.7 до 400 K) и изменения условий gamma-облучения. Показано, что в интервале температур от 400 до ~100 K подвижность электронов увеличивается в соответствии с механизмом рассеяния на акустических фононах, тогда как при дальнейшем снижении температуры вплоть до температур жидкого гелия подвижность падает вследствие того, что превалирующим становится кулоновское рассеяние электронов на заряженных поверхностных центрах. Показано также, что в результате gamma-облучения подвижность электронов уменьшается, причем степень этого уменьшения сильно зависит от электрического режима датчика в процессе облучения.
  1. K. Uchida, S. Takagi. Appl. Phys. Lett., 82, 2916 (2003)
  2. H. Sakaki, T. Noda, K. Hirakawa, M. Tanaka, T. Matsusue. Appl. Phys. Lett., 51, 1934 (1987)
  3. В.В. Беляков, В.С. Першенков, Г.И. Зебрев, А.В. Согоян, А.И. Чумаков, А.И. Никифоров, П.К. Скоробогатов. Микроэлектроника, 32 (1), 31 (2003)
  4. N.St.J. Murphy, F. Berz, I. Flinn. Sol. St. Electron., 12, 775 (1969)
  5. А.А. Гузев, Г.Л. Курышев, С.П. Синица. ФТП, 4, 2043 (1970)
  6. В.А. Гергель, М.В. Тимофеев, А.П. Зеленый. ФТП, 32 (6), 748 (1998)
  7. А.Г. Акимов, М.Ю. Барабаненков, М.Л. Бараночников, А.В. Леонов, А.Д. Мокрушин, В.Н. Мордкович, Н.М. Омельяновская. ПТЭ, 5, 123 (1998)
  8. R.S. Popovic. Hall Effect Devices (Bristol and Philadelphia, Institute of Physics Publishing, 2004)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.