"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Комбинированные подложки из поли- и монокристаллического CVD-алмаза для алмазной электроники
Вихарев А.Л.1, Горбачев А.М.1, Духновский М.П.2, Мучников А.Б.1, Ратникова А.К.2, Федоров Ю.Ю.2
1Федеральный исследовательский центр Институт прикладной физики Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия
2ФГУП НПП "ИСТОК", Фрязино, Россия
Поступила в редакцию: 4 июля 2011 г.
Выставление онлайн: 20 января 2012 г.

Представлены результаты исследований получения алмазных подложек, в которых моно- и поликристаллический CVD-алмаз образуют единую пластину, и эпитаксиального роста алмазных пленок на таких комбинированных подложках, содержащих участки поликристаллического и монокристаллического CVD-алмаза с ориентацией (100).
  1. CVD Diamond for Electronic Devices and Sensors, ed. by R.S. Sussmann (John Wiley\&Sons, 2009)
  2. T.Teraji. In: Physics and Applications of CVD Diamond, ed. by S. Koizumi, C. Nebel, M. Nesladek (Wiley--VCH, 2008) p. 29
  3. М. Макушин. Электроника: НТБ, N 8, 82 (2005)
  4. H. Yamada, A. Chayahara, Y. Mokuno, H. Umezawa, S. Shikata, N. Fujimori. Appl. Phys. Express, 3, 051 301 (2010)
  5. http://www.e6cvd.com
  6. http://www.diamond-materials.com
  7. http://www.ipfran.ru/structure/lab122/info.html
  8. В.С. Вавилов. УФН. 167 (2), 17 (1997)
  9. C. Nebel. In: Thin-Film Deamond-I, ed. by C. Nebel, J. Ristein (Elsevier, 2003)
  10. А.А. Алтухов, А.Л. Вихарев, А.М. Горбачев, М.П. Духновский, В.Е. Земляков, К.Н. Зяблюк, А.В. Митенкин, А.Б. Мучников, Д.Б. Радищев, А.К. Ратникова, Ю.Ю. Федоров. ФТП, 45 (3), 403 (2011)
  11. A.B. Muchnikov, A.L. Vikharev, A.M. Gorbachev, D.B. Radishev. Diamond Relat. Mater., 20, 1225 (2011)
  12. T. Teraji. Phys. Status. Solidi, 203 (13), 3324 (2006)
  13. М.П. Духновский, А.К. Ратникова, Ю.Ю. Федоров, О.Ю. Кудряшов, И.А. Леонтьев. Электрон. техн., сер. 1, СВЧ-техника, N 2, 41 (2008)
  14. Y. Mokuno, A. Chayhara, H. Yamada. Deamond Relat. Mater., 17, 415 (2008)
  15. A.K. Freund, J. Hoszowska, J.P.F. Sellschop, R.C. Burns, M. Rebak. Nucl. Instr. Meth. A, 467--468, 384 (2001)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.