"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Комплексное исследование условий получения гидрированных аморфных пленок субоксида кремния, легированного эрбием и кислородом, a-SiOx:H<Er,O>, с помощью dc-магнетрона
Ундалов Ю.К.1, Теруков Е.И.1, Гусев О.Б.1, Лебедев В.М.2, Трапезникова И.Н.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Петербургский институт ядерной физики им. Б.П. Константинова, Национальный исследовательский центр "Курчатовский институт", Гатчина, Ленинградская область, Россия
Поступила в редакцию: 19 мая 2011 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 2011 г.

Приведены результаты комплексного исследования условий получения пленок a-SiOx:H<Er,O>. Изучено влияние состава различных эрбийсодержащих мишененй (a-SiOx:H<Er,O>, ErOx, Er2SiO5, Er2O3 и Er), температуры подложки и температуры отжига в аргоне, на воздухе и в условиях горения SiH4+Ar+O2-плазмы. С целью получения пленок a-SiOx:H<Er,O> с наибольшей интенсивностью фотолюминесценции ионов эрбия рекомендовано использовать следующие технологические условия: подложкодержатель должен быть изолирован от электродов dc-магнетрона, состав рабочей газовой смеси должен включать силан, аргон и кислород. В качестве мишеней следует использовать монокристаллический кремний и металлический эрбий. Эрбиевая мишень должна находиться только в зоне эрозии Si-мишени.
  1. М.С. Бреслер, О.Б. Гусев, П.Е. Пак, И.Н. Ясиевич, Т. Грегоркевич. Изв. АН. Сер. физ., 66, 276 (2002)
  2. D.L. Adler, D.C. Jacobson, D.J. Eaglesham, M.A. Marcus, J.L. Benton, J.M. Poate, P.H. Citrin. Appl. Phys. Lett., 61, 2181 (1992)
  3. L.R. Tessler, A.C. Iniguez. J. Non-Cryst. Sol., 266--269, 603 (2000)
  4. A.R. Zanatta, L.A.O. Nunes, L.R. Tessler. Appl. Phys. Lett., 70, 511 (1997)
  5. C. Piamonteze, A.C. Iniguez, L.R. Tessler, M.C.M. Alves, H. Tolentino. Phys. Rev. Lett., 81, 4652 (1998)
  6. Ю.К. Ундалов, Е.И. Теруков, О.Б. Гусев, В.М. Лебедев, И.Н. Трапезникова. ФТП, 42, 1357 (2008)
  7. A. Janotta, M. Schmidt, R. Janssen, M. Stutzmann. Phys. Rev. B, 68, 165 207 (2003)
  8. М.С. Бреслер, О.Б. Гусев, Е.И. Теруков, Ю.К. Ундалов, Н.А. Селюженок. ФТТ, 50, 1664 (2008)
  9. I.N. Yassievich, M.S. Bresler, O.B. Gusev. J. Phys. C, 9, 9415 (1997)
  10. М.С. Бреслер, Т. Грегоркевич, О.Б. Гусев, Н.А. Соболев, Е.И. Теруков, И.Н. Яссиевич, Б.П. Захарченя. ФТТ, 41, 851 (1999)
  11. E.I. Terukov, Yu.K. Undalov, V.Kh. Kudoyarova, K.V. Koughia, J.P. Kleider, M.E. Gueunier, R. Meaudre. J. Non-Cryst. Sol., 299--302, 699 (2002)
  12. C. Piamonteze, L.R. Tessler, H. Tolentino, M. do C.M. Alves, G. Weiser, E. Terukov. Mater. Res. Soc. Symp. Proc., 609, A 11.2.1 (2000)
  13. V. Petkova, H.P. Zeindl, J. Herion, W. Beyer. J. Non-Cryst. Sol., 97/98, pt 2, 807 (1987)
  14. А.А. Андреев, В.Б. Воронков, В.Г. Голубев, А.В. Медведев, А.Б. Певцов. ФТП, 33, 106 (1999)
  15. А.И. Машин, А.Ф. Хохлов. ФТП, 33, 1001 (1999)
  16. А.И. Машин, А.Ф. Хохлов, А.Г. Разуваева, С.К. Игнатов, А.А. Щепалов. ФТП, 33, 1253 (1999)
  17. J.I. Pankov, D.E. Carison. Appl. Phys. Lett., 31 , 450 (1977)
  18. R.A. Street, M. Hack, W.B. Jackson. Phys. Rev. B, 37, 4209 (1988)
  19. R.A. Street, K. Winer. Phys. Rev. B, 40, 6236 (1989)
  20. O. Gusev, E.I. Terukov, K. Tsendin, Yu. Undalov, S. Minissale, T. Gregorkiewicz. Physica B, 404, 5102 (2009)
  21. H. Isshiki, M.J.A. de Dood, A. Polman, T. Kimura. Appl. Phys. Lett., 85, 4343 (2004)
  22. K. Suh, J.H. Shin, S.-J. Seo, B.-S. Bae. Appl. Phys. Lett., 89, 223 102 (2006)
  23. M. Miritello, R. Lo Savio, A.M. Piro, G. Franzo, F. Priolo, F. Icona, C. Bongiomo. J. Appl. Phys., 100, 013 502 (2006)
  24. S. Chen, Y. Zhu, R. Wu, Y. Wu, Y. Fan, Z. Jiang. J. Appl. Phys., 101, 064 106 (2007)
  25. V. Mikhelashvili, G. Eisenstein, F. Edelman, R. Brener, N. Zakharov, P. Werner. J. Appl. Phys., 95, 613 (2004)
  26. W. Beyer. J. Non-Cryst. Sol., 266--269, pt 2, 845 (2000)
  27. R. Walkup, Ph. Avouris, R.W. Dreyfus, J.M. Jasinski, G.S. Salwyn. Appl. Phys. Lett., 45, 372 (1984)
  28. E. Carison, C.W. Wages. Appl. Phys. Lett., 33, 81 (1978)
  29. A. Janotta, R. Janssen, M. Schmidt, T. Graf, L. Gorgens, C. Hammer, B. Stritzker, M. Stutzman. J. Non-Cryst. Sol., 299--302, pt A, 579 (2002)
  30. И.П. Лисовский, И.З. Индутный, Б.Н. Гненный, П.М. Литвин, Д.О. Мазунов, А.С. Оберемок, Н.В. Сопинский, П.Е. Шепелявый. ФТП, 37, 98 (2003)
  31. U.K. Das, T. Yasuda, S. Yamasaki. Phys. Rev. Lett., 85, 2324 (2000)
  32. S. Yamusaki, U.K. Das, K. Ishikawa. Thin Sol. Films, 407, 139 (2002).

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.