"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Перераспределение компонентов в системе ниобий-кремний при высокотемпературном протонном облучении
Афонин Н.Н.1, Логачева В.А.1, Ховив А.М.1
1Воронежский государственный университет, Воронеж, Россия
Поступила в редакцию: 17 мая 2011 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 2011 г.

Исследовано перераспределение компонентов в системе ниобий-кремний в процессе магнетронного распыления ниобия, вакуумного отжига и высокотемпературного протонного облучения. Установлено, что в ходе магнетронного распыления и последующего вакуумного отжига кремний проникает через пленку металла на ее внешнюю границу. При высокотемпературном протонном облучении наблюдается подавление диффузии ниобия в кремний, что объясняется наличием высокой концентрации радиационных вакансий в области межфазной границы Nb/Si.
  1. M. Zhang, W. Yu, W.K. Wang. J. Mater. Sci. Lett., 16, 241 (1997)
  2. T. Nakanishi, M. Takeyama, A. Noya. J. Appl. Phys., 77 (2), 948 (1995)
  3. Н.Н. Афонин, В.А. Логачева, А.М. Ховив и др. Неорганические материалы, 45 (9), 1074 (2009)
  4. M. Zhang, W. Yu, W.H. Wang et al. J. Appl. Phys., 80 (3), 1422 (1996)
  5. T.P. Chow, K. Hamzeh, A.J. Stecki. J. Appl. Phys., 54 (5), 2716 (1983)
  6. E. Horache, J.E. Fisher, J. Van der Spiegel. J. Appl. Phys. 68 (9), 4652 (1990)
  7. В.П. Пугачевич, Ю.Д. Чистяков, С.П. Тимошенков. Физика металлов и металловедение, 54 (3), 449 (1982)
  8. Тонкие пленки. Взаимная диффузия и реакции, под ред. Дж . Поута, К. Ту, Дж. Мейера (М., Мир, 1982). [Пер. с англ.: Thin Films - Interdiffusion and Reactions, ed. by J.M. Poate, K.N. Tu and J.W. Mayer (N.Y., John Wiley\&Sons, 1978)]
  9. N. Suresh, Rachana Thakur, D.M. Phase, S.M. Chaudhari. J. Appl. Phys., 87, 7946 (2000)
  10. В.В. Козловский, П.А. Иванов, Д.С. Румянцев и др. ФТП, 38 (7), 778 (2004)
  11. О.В. Александров, В.В. Козловский. ФТП, 43 (7), 917 (2009)
  12. Б.С. Данилин, В.К. Сырчин. Магнетронные распылительные системы (М., Радио и связь, 1982) с.72
  13. В.М. Вахтель, Н.Н. Афонин, В.А. Логачева и др. Завод. лаб. Диагностика материалов, 74 (7), 33 (2008)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.