"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Синтез, структура и электрические свойства нанокомпозита (SnO2)x(In2O3)1-x (x=0.5-1)
Рембеза С.И.1, Воронов П.Е.2, Синельников Б.М.2, Рембеза Е.С.1
1Воронежский государственный технический университет, Воронеж, Россия
2Северо-Кавказский государственный технический университет, Ставрополь, Россия
Поступила в редакцию: 20 апреля 2011 г.
Выставление онлайн: 20 октября 2011 г.

Приведены экспериментальные результаты синтеза тонких пленок (толщиной <1 мкм) нанокомпозитов (SnO2)x(In2O3)1-x с x=0.5-1 по массе, изготовленных методом высокочастотного магнетронного распыления металлооксидных мишеней в контролируемой атмосфере Ar+O2. Пленки, неанесенные на горячую подложку (400oC), исследовались методами рентгенофазового анализа, атомно-силовой микроскопии, оптическими и электричеcкими методами. Установлено влияние режимов синтеза и состава пленок на размер кристаллических зерен, ширину запрещенной зоны, концентрацию и подвижность свободных носителей заряда. Показано, что пленки состава (SnO2)x(In2O3)1-x с x=0.9 наиболее перспективны для применения в газовой сенсорике.
  1. Р.В. Каттралл. Химические сенсоры (М., Научный мир, 2000)
  2. А.А. Васильев, И.М. Олихов, А.В. Соколов. Электроника: Наука, Технология, Бизнес, N 2, 24 (2005).
  3. Figaro: датчики газов (М., Додэка-XXI, 2202)
  4. D.D. Vuong, G. Sakai, K. Shimanoe, N. Yamazoe. Sensors Actuators B, 103, 386 (2004)
  5. М.М. Колтун. Селективные оптические поверхности преобразователей солнечной энергии (М., Наука, 1976)
  6. Х. Геришер. Преобразование солнечной энергии. Вопросы физики твердого тела (М., Энергоиздат, 1982)
  7. K.L. Chopra, S. Major, D.K. Pandya. Thin Sol. Films, 102, 1 (1983)
  8. H. Kostlin, R. Jost, W. Lems. Phys. Status Solidi A, 29, 87 (1975)
  9. M. Di Giulio, G. Micocci, A. Serra, A. Tepore, R. Rella, P. Siciliano. Sensors Actuators B, 24--25, 465 (1995)
  10. J.C.C. Fan, F.J. Bachner. J. Electrochem. Soc., 122, 1719 (1975)
  11. G.B. Barbi, J.P. Santos, P. Serrini, P.N. Gibson, M.C. Horrillo, L. Manes. Sensors Actuators B, 24--25, 559 (1995)
  12. Л.Л.Мешков, С.Н. Нестеренко. Сенсор, 1, 32 (2003)
  13. Е.С. Рембеза, Т.В. Свистова, С.И. Рембеза, А.С. Комарова, Н.Н. Дырда. Нано- и микросистемная техника, N 4, 27 (2006)
  14. Е.С. Рембеза, Т.В. Свистова, С.И. Рембеза, А.С. Комарова, Н.Н. Дырда. Нано- и микросистемная техника, N 11, 23 (2006)
  15. G. Sanon, A. Mansingh. Thin Sol. Films, 190, 287 (1990)
  16. J. Watson, K. Ihokura, G.S.V. Coles. Meas. Sci. Technol., 4, 717 (1993)
  17. Z.M. Jarzebski, J.P. Marton. J. Electrochem. Soc., 123, 333 (1976)
  18. J.B. Dubow, D.E. Burk, J.R. Sites. Appl. Phys. Lett., 29. 494 (1976)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.