Вышедшие номера
Синтез, структура и электрические свойства нанокомпозита (SnO2)x(In2O3)1-x (x=0.5-1)
Рембеза С.И.1, Воронов П.Е.2, Синельников Б.М.2, Рембеза Е.С.1
1Воронежский государственный технический университет, Воронеж, Россия
2Северо-Кавказский государственный технический университет, Ставрополь, Россия
Поступила в редакцию: 20 апреля 2011 г.
Выставление онлайн: 20 октября 2011 г.

Приведены экспериментальные результаты синтеза тонких пленок (толщиной <1 мкм) нанокомпозитов (SnO2)x(In2O3)1-x с x=0.5-1 по массе, изготовленных методом высокочастотного магнетронного распыления металлооксидных мишеней в контролируемой атмосфере Ar+O2. Пленки, неанесенные на горячую подложку (400oC), исследовались методами рентгенофазового анализа, атомно-силовой микроскопии, оптическими и электричеcкими методами. Установлено влияние режимов синтеза и состава пленок на размер кристаллических зерен, ширину запрещенной зоны, концентрацию и подвижность свободных носителей заряда. Показано, что пленки состава (SnO2)x(In2O3)1-x с x=0.9 наиболее перспективны для применения в газовой сенсорике.