Изучены особенности поверхностного структурирования субмонослойных углеродных покрытий, осажденных в высокоионизованной сверхвысокочастотной плазме низкого давления на пластины кремния с кристаллографическими ориентациями (111) и (100). Установлено, что размер, форма и поверхностная плотность наноструктурных углеродных образований определяются атомной микроструктурой свободной поверхности кремния заданных кристаллографических ориентаций и ее модификацией в зависимости от условий осаждения и отжига. Показана принципиальная возможность получения интегральных столбчатых наноструктур с поверхностной плотностью до (4-5)·10⁹ см^-2 и высотой свыше 400 нм в результате высокоанизотропного травления с использованием полученных углеродных островковых нанообразований в качестве масочного покрытия на монокристаллическом кремнии ориентации (100).

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.