"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Структурирование субмонослойных углеродных покрытий, осажденных в СВЧ плазме низкого давления на монокристаллическом кремнии
Шаныгин В.Я.1, Яфаров Р.К.1
1Институт радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова Российской академии наук (Саратовский филиал), Саратов, Россия
Поступила в редакцию: 12 апреля 2011 г.
Выставление онлайн: 20 октября 2011 г.

Изучены особенности поверхностного структурирования субмонослойных углеродных покрытий, осажденных в высокоионизованной сверхвысокочастотной плазме низкого давления на пластины кремния с кристаллографическими ориентациями (111) и (100). Установлено, что размер, форма и поверхностная плотность наноструктурных углеродных образований определяются атомной микроструктурой свободной поверхности кремния заданных кристаллографических ориентаций и ее модификацией в зависимости от условий осаждения и отжига. Показана принципиальная возможность получения интегральных столбчатых наноструктур с поверхностной плотностью до (4-5)·109 см-2 и высотой свыше 400 нм в результате высокоанизотропного травления с использованием полученных углеродных островковых нанообразований в качестве масочного покрытия на монокристаллическом кремнии ориентации (100).
  1. Н.Н. Леденцов, В.М. Устинов, В.А. Щукин, П.С. Копьёв, Ж.И. Алфёров, Д. Бимберг. ФТП, 32 (4), 385 (1998)
  2. Р.К. Яфаров. Физика СВЧ вакуумно-плазменных нанотехнологий (М., Физматлит, 2009)
  3. В.М. Ивлев, Л.И. Трусов, В.А. Холмянский. Структурные превращения в тонких пленках (М., Металлургия, 1982)
  4. К. Оура, В.Г. Лифшиц, А.А. Саранин, А.В. Зотов, М. Катаяма. Введение в физику поверхности (М., Наука, 2006)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.