"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Влияние примеси Sn на оптические и структурные свойства тонких кремниевых пленок
Войтович В.В.1, Неймаш В.Б.1, Красько Н.Н.1, Колосюк А.Г.1, Поварчук В.Ю.1, Руденко Р.М.2, Макара В.А.2, Петруня Р.В.2, Юхимчук В.О.3, Стрельчук В.В.3
1Институт физики Национальной академии наук Украины, Киев, Украина
2Киевский национальный университет им. Т. Шевченко (Физический факультет), Киев, Украина
3Институт физики полупроводников им. В.Е. Лашкарева Национальной академии наук Украины, Киев, Украина
Поступила в редакцию: 31 января 2011 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 2011 г.

Исследовано влияние примеси олова на структуру и оптические свойства тонкопленочного аморфного кремния. Установлено, что примесь олова ускоряет процесс кристаллизации аморфного кремния. Уже непосредственно после осаждения пленки на подложку (~300oC) в образцах с оловом присутствует кристаллическая фаза кремния. Высоковакуумный отжиг (350-750oC) приводит к росту кристаллической фазы в пленках с оловом (размер нанокристаллов возрастает от ~3.0 до 4.5 нм). В то же время в пленках без олова происходит лишь увеличение степени ближнего порядка. Кремниевая пленка без олова остается аморфной во всем интервале температур отжига.
  1. A. Shan, E. Vallat-Shauvain, P. Torres, J. Meier, U. Kroll, C. Hof, C. Droz, M. Goerlitzer, N. Wyrsch, M. Vanechek. Mater. Sci. Eng., 69--70, 219 (2000)
  2. А.В. Васин, А.В, Русавский, В.С. Лысенко, А.Н. Назаров, В.И. Кушниренко, С.П. Старик, В.Г. Степанов. ФТП, 39, 602 (2005)
  3. А.В. Ершов, А.И. Машин, А.Ф. Хохлов, Д.Е. Касьянов, А.В. Нежданов, Н.И. Машин, И.А. Карабанова. Тр. 1-го совещания по проекту НАТО SfP-973799 Semiconductors (Н. Новгород, 2001) с. 124
  4. В.Е. Кустов, М.Г. Мильвидский, Ю.Г. Семенов, Б.М. Туровский, В.И. Шаховцов, В.Л. Шиндич. ФТП, 20 (2), 270 (1986)
  5. В.М. Бабич, Н.И. Блецкан, Е.Ф. Венгер. Кислород в монокристаллах кремния (Киев, Iнтерпрес ЛТД, 1997) с. 240
  6. K.L. Brower. Phys. Rev. B, 9 (6), 2607 (1974)
  7. A. Mesli, A. Nylandsted Larsen. Phys. Rev. Lett., 83 (1), 148 (1999)
  8. C.V. Budtz-Jorgensen, P. Kringhoj, A. Nylandsted Larsen, N.V. Abrosimov. Phys. Rev. B, 58 (3), 1110 (1998)
  9. G.D. Watkins. Phys. Rev. B, 12 (10), 4383 (1975)
  10. V.B. Neimash, A. Kraitchinskii, M. Kras'ko, O. Puzenko, C. Claeys, E. Simoen, B. Svensson, A. Kuznetsov. J. Electrochem. Soc., 147 (7), 2727 (2000)
  11. V.B. Neimash, A.M. Kraitchinskii, M.M. Krasko, O.O. Pusenko, E. Simoen, C. Claeys, A. Blondeel, P. Clauws. Ukr. J. Phys., 45 (9), 1121 (2000)
  12. M.M. Kras'ko, V.V. Voitovych, V.B. Niemash, A.M. Kraitchinskii. Ukr. J. Phys., 49 (7), 691 (2004)
  13. V.B. Neimash, V.V. Voitovich, M.M. Kras'ko, A.M. Kraitchinskii, O.M. Kabaldin, Yu. V. Pavlovskyi, V.M. Tsmots'. Ukr. J. Phys., 50 (11), 1273 (2005)
  14. V.B. Neimash, V.V. Voitovich, A.M. Kraitchinskii, L.I. Spinar, M.M. Kras'ko, V.M. Popov, A.P. Pokanevych, M.I. Gorodis'kyi, Yu.V. Pavlovskyi, V.M. Tsmots, O.M. Kabaldin. Ukr. J. Phys., 50 (5), 492 (2005)
  15. А.Г. Казанский, Е.И. Теруков, П.А. Форш, J.P. Kleider. ФТП, 44 (4), 513 (2010)
  16. А.Г. Казанский, О.Г. Кошелев, А.Ю. Сазонов, А.А. Хомич. ФТП, 42 (2), 192 (2008)
  17. A.A. Sirenko, J.R. Fox, L.A. Akimov, X.X. Xi, S. Ruvimov, Z. Liliental-Weber. Sol. St. Commun., 113, 553 (2000)
  18. А.П. Соколов, А.П. Шебанин. ФТП, 24 (6), 1138 (1990)
  19. G.D. Cody, T. Tiedje, B. Abeles, B.Brooks, Y. Goldstein. Phys. Rev. Lett., 47 (20), 1480 (1981)
  20. P. Mishra, K.P. Jain. Phys. Rev. B, 64, 073 304 (2001)
  21. A. Morimoto, T. Kataoka, T. Shimizu. Jpn. J. Appl. Phys., 23 (10), L812 (1984)
  22. S.Y. Shiryaev, J.L. Hansen, P. Kringhoj, A.N. Larsen. Appl. Phys. Lett., 67, 2287 (1995)
  23. H. Richter, Z.P. Wang, L. Ley. Sol. St. Commun., 39, 625 (1981)
  24. H. Cambell, P.M. Fauchet. Sol. St. Commun., 58 (10), 739 (1986)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.