"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Формирование и кристаллизация нанокластеров кремния в пленках SiNx:H с применением фемтосекундных импульсных отжигов
Корчагина Т.Т.1, Володин В.А.1,2, Chichkov B.N.3
1Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук, Новосибирск, Россия
2Новосибирский государственный университет, Новосибирск, Россия
3Laser Zentrum Hannover, Hannover, Germany
Поступила в редакцию: 22 апреля 2010 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 2010 г.

Пленки SiNx:H разного состава, осажденные на подложки из стекла и кремния с применением плазмо-химического метода при температуре 380oC, были подвергнуты импульсным лазерным отжигам. Обработки проводились с применением излучения титан-сапфирового лазера с длиной волны 800 нм и длительностью импульса 30 фс. Структурные изменения в пленках были исследованы с применением спектроскопии комбинационного рассеяния света. В исходных пленках с молярной долей избыточного кремния ~1/5 и выше обнаружены нанокластеры аморфного кремния. Были найдены режимы, необходимые для импульсной кристаллизации нанокластеров. По данным спектроскопии комбинационного рассеяния, в исходных пленках с небольшим количеством избыточного кремния (x>1.25) кластеров кремния обнаружено не было. Импульсные обработки привели к формированию в данных пленках нанокластеров кремния с размерами 1-2 нм.
  1. В.А. Гриценко. УФН, 178, 727 (2008)
  2. Nae-Man Park, Chel-Jong Choi, Tae-Yeon Seong, Seong-Ju Park. Phys. Rev. Lett., 86, 1355 (2001)
  3. Nae-Man Park, Tae-Soo Kim, Seong-Ju Park. Appl. Phys. Lett., 78, 2575 (2001)
  4. Т.Т. Кочагина, Д.В. Марин, В.А. Володин, А.А. Попов, M. Vergnat. ФТП, 43, 1557 (2009)
  5. Tae-Youb Kim, Nae-Man Park, Kyung-Hyun Kim, Gun Yong Sung, Young-Woo Ok, Tae-Yeon Seong, Chel-Jong Choi. Appl. Phys. Lett., 85, 5355(2004)
  6. M. Molinari, H. Rinnert, M. Vergnat. Europhys. Lett., 66, 674 (2004)
  7. G. Scardera, T. Puzzer, G. Conibeer, M.A. Green. J. Appl. Phys., 104, 104 310 (2008)
  8. V.A. Volodin, M.D. Efremov, V.A. Gritsenko, S.A. Kochubei. Appl. Phys. Lett., 73, 1212 (1998)
  9. Т.Т. Корчагина, В.А. Володин, А.А. Попов, Б.Н. Чичков. Вестн. НГУ. Сер. Физика, 4, 47 (2009)
  10. М.Д. Ефремов, В.А. Володин, Д.В. Марин, С.А. Аржанникова, Г.Н. Камаев, С.А. Кочубей, А.А. Попов. ФТП, 42, 202 (2008)
  11. A.V. Kolobov. J. Appl. Phys., 87, 2926 (2000)
  12. В.А. Володин, М.Д. Ефремов, Г.А. Качурин, А.Г. Черков, M. Deutschmann, N. Baersch. Письма ЖЭТФ, 86, 128 (2007)
  13. J. Bok. Phys. Lett. A, 84, 448 (1981)
  14. T. Sameshima, M. Hara, N. Sano, S. Usui. Jpn. J. Appl. Phys., 29, L1363 (1990)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.