"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Формирование полосок двумерного фотонного кристалла путем одновременного фотоэлектрохимического травления щелей и макропор в кремнии
Астрова Е.В.1, Федулова Г.В.1, Гущина Е.В.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 29 апреля 2010 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 2010 г.

Исследован процесс совместного электрохимического травления глубоких макропор и щелей в n-Si ориентации (100). После удаления подложки области образца, ограниченные со всех сторон замкнутым контуром сквозных щелей, извлекали из образца, оставляя узкие полоски двумерного фотонного кристалла. На примере фотонного кристалла с квадратной решеткой макропор анализируется влияние расстояния между порами и щелью, режимов травления и последующего окисления на шероховатость боковых стенок таких структур, а также на изменение размера и формы пор вблизи щели. Найдены условия, обеспечивающие наименьшее искажение решетки фотонного кристалла и получение наиболее гладких боковых стенок структуры (среднеквадратичная высота неровности ~60 нм).
  1. V. Lehmann, H. Foll. J. Electrochem. Soc., 137, 653 (1990)
  2. K. Busch, S. Lolkes, R.B. Wehrspohn, H. Foll. Photonic Crystals (Germany, Wiley VCH, 2004)
  3. S. Ottow, V. Lehmann, H. Foll. J. Electrochem. Soc., 143, 385 (1996)
  4. F. Muller, A. Birner, J. Schilling, A.-P. Li, K. Nielsch, U. Gosele, V. Lehmann. Microsystem Technol., 8, 7 (2002)
  5. Е.В. Астрова, Т.Н. Боровинская, В.А. Толмачев, Т.С. Перова. ФТП, 38, 1125 (2004)
  6. G. Barillaro, A. Nannini, F. Pieri. J. Electrochem. Soc., 149, C180 (2002)
  7. G. Barillaro, A. Nannini, M. Piotto. Sensors Actuators A, 102, 195 (2002)
  8. Е.В. Астрова, А.А. Нечитайлов. ФТП, 42, 747 (2008)
  9. E.V. Astrova, A.A. Nechitailov, V.A. Tolmachev, V.A. Melnikov, T.S. Perova. Phys. Status Solidi A, 206, 1235 (2009)
  10. E.V. Astrova, G.V. Fedulova. J. Micromech. Microeng., 19, 095 009 (2009)
  11. E.V. Astrova, V.A. Tolmachev, G.V. Fedulova, V.A. Melnikov, A.V. Ankudinov, T.S. Perova. Appl. Phys. A, 98, 571 (2010)
  12. Е.В. Астрова, В.А. Толмачев, Г.В. Федулова, V.A. Melnikov, T.S. Perova. Изв. РАН. Сер. физ., 74, 72 (2010)
  13. Ю.А. Жарова, Г.В. Федулова, Е.В. Гущина, А.В. Анкудинов, Е.В. Астрова, В.А. Ермаков, Т.С. Перова. ФТП, 44, 986 (2010)
  14. T. Geppert, S.L. Schweizer, U. Gosele, R.B. Wehrspohn. Appl. Phys. A, 84, 237 (2006)
  15. R.B. Wehrspohn, S.L. Schweizer, V. Sandoghdar. Phys. Status Solidi A, 204, 3708 (2007)
  16. T. Geppert. Ph. D. Dissertation (Max-Planck-Institute for Physics of Microstructures, Halle (Saale) and University of Paderborn, Germany, 2006) urn:nbn:de:gbv:3--000010074 [http://nbn--resolving.de/urn/resolver.pl?urn-nbn% 3Ade%3Agbv%3A3--000010074]
  17. Е.В. Астрова, В.В. Ратников, А.Д. Ременюк, И.Л. Шульпина. ФТП, 36, 1111 (2002)
  18. V. Lehmann. Electrochemistry of Silicon (Germany, Wiley VCH, 2002)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.