"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Свободные люминесцирующие слои пористого кремния
Горячев Д.Н.1, Беляков Л.В.1, Сресели О.М.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 15 июня 2010 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 2010 г.

Изготовлены свободные слои пористого кремния толщиной 50-200 мкм с использованием электролита HF-уксусная кислота. Рассмотрены химические аспекты травления, связанные с выделением газов при травлении, способствующих отделению слоев от подложки. Слои обладают устойчивой фотолюминесценцией в видимой области спектра, наблюдаемой с обеих сторон.
  1. J.H. Selj, A. Th gersen, S.E. Foss, E.S. Marstein. J. Appl. Phys., 107, 074 904 (2010)
  2. E. Stein, J.F. Klemic, D.A. Routenberg, P.N. Wyrembak, D.B. Turner-Evans, A.D. Hamilton, D.A. LaVan, T.M. Fahmy, M.A. Rees. Nature, 445, 519 (2007)
  3. D.R. Turner. J. Electrochem. Soc., 105 (7), 402 (1958)
  4. G. Mauckner, W. Rebitzer, K. Thonke, R. Sauer. Sol. St. Commun., 91 (9), 717 (1994)
  5. H. Tanino, A. Kuprin, H. Deai, N. Koshida. Phys. Rev. B, 53 (4), 1937 (1996)
  6. A. Diligenti, A. Nannini, G. Pennelli, F. Pieri. Appl. Phys. Lett., 68 (5), 687 (1996)
  7. M. Ghulinyan, C.J. Oton, G. Bonetti, Z. Gaburro, L. Pavesi. J. Appl. Phys., 93 (12), 9724 (2003)
  8. C.S. Solanki, R. Bilyalov, H. Bender, J. Poortmans. Phys. Status Solidi A, 182, 97 (2000)
  9. C.S. Solanki, R.R. Bilyalov, J. Poortmans, J.-P. Celis, J. Nijs. Phys. Status Solidi A, 197 (2), 507 (2003)
  10. R.R. Bilyalov, C.S. Solanki, J. Poortmans, A. Ulyashin, R. Job, W. Fahrner. Phys. Status Solidi A, 197, 128 (2003)
  11. C.S. Solanki, R.R. Bilyalov, J. Poortmans, J.-P. Celis, J. Nijs, R. Mertens. J. Electrochem. Soc., 151 (5), C307 (2004)
  12. С.П. Зимин. ФТП, 34 (3), 359 (2000)
  13. R.L. Smith, S.D. Collins. J. Appl. Phys., 71 (8), R1 (1992)
  14. I. Coulthard, W.J. Antal, J.W. Freeland, T.K. Sham, S.J. Naftel, P. Zhang. Appl. Phys. Lett., 77 (4), 498 (2000)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.