"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Метод измерения скорости поверхностной рекомбинации в кремниевых пластинах по их тепловому излучению
Богатыренко В.В.1
1Институт физики полупроводников им. В.Е. Лашкарева Национальной академии наук Украины, Киев, Украина
Поступила в редакцию: 30 июля 2009 г.
Выставление онлайн: 17 февраля 2010 г.

Предложен бесконтактный метод измерения скорости поверхностной рекомбинации в кремниевых пластинах, основанный на изучении зависимости мощности теплового излучения кремния за краем собственного поглощения от длины волны возбуждающего света из области собственного поглощения. Скорость поверхностной рекомбинации при различных обработках поверхности определялась по отношению интенсивностей теплового излучения пластин в диапазоне длин волн 3--5 мкм, возникающего при возбуждении двумя лазерными диодами с длинами волн 863 и 966 нм. Измеренные значения скоростей при 230oC составили порядка 104 см/с после механической полировки и 103 см/с после травления в CP-4A. Рассмотрены вопросы применимости метода и погрешности измерения в зависимости от параметров пластин и источников света.
  1. O. Palais, A. Arcary. J. Appl. Phys., 93, 4686 (2003)
  2. F. Sanii, F.P. Giles, R.J. Schwartz, J.L. Gray. Sol. St. Electron., 35, 311 (1992)
  3. F.X. Chen, R.Q. Cui, L. Xu, F. Irace, J. Meng, Z.X. Zhao, Z.B. Zhon. Semicond. Sci. Technol., 19, 959 (2004)
  4. L. Sirleto, A. Irace, G. Vitale, L. Zeni. A. Cutolo. J. Appl. Phys., 93, 3407 (2003)
  5. A.J. Sabbah, D.M. Riffe. J. Appl. Phys., 88, 6954 (2000)
  6. A. Buczkowski, Z.J. Radzimski, G.A. Rozgonyi, F.J. Shimura. J. Appl. Phys., 69, 6495 (1991)
  7. A. Salnick, A. Mandelis, C. Jean. Appl. Phys. Lett., 69, 2522 (1996)
  8. V. Malyutenko, S. Chyrchyk. Appl. Phys. Lett., 89, 051 909 (2006)
  9. D. Baek, S. Rouvimov, B. Kim, T.-C. Jo, D.K. Schroder. Appl. Phys. Lett., 86, 112 110 (2005)
  10. V.K. Malyutenko, V.V. Bogatyrenko, O.Y. Malyutenko, D.R. Snyder, A.J. Huber, J.D. Norman. Proc. SPIE, 4818, 147 (2002)
  11. V.K. Malyutenko, V.V. Bogatyrenko. Phys. Rev. B, 76, 113 201 (2007)
  12. V.K. Malyutenko. Infr. Phys., 32, 291 (1991)
  13. H.B. DeVore. Phys. Rev., 102, 86 (1956)
  14. В.К. Субашиев, В.А. Петрусевич, Г.Б. Дубровский. ФТТ, 11(5), 1022 (1960)
  15. K. Rajkanan, R. Singh, J. Shewchun. Sol. St. Electron., 22, 793 (1979)
  16. C. Jacoboni, C. Canali, G. Ottaviani, A.A. Quaranta. Sol. St. Electron., 20, 77 (1977)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.