"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Получение текстурированных пленок нитрида алюминия методом термохимической нитридизации сапфира
Калтаев Х.Ш-о.1, Сидельникова Н.С.1, Нижанковский С.В.1, Данько А.Я.1, Ром М.А.1, Матейченко П.В.1, Добротворская М.В.1, Будников А.Т.1
1Институт монокристаллов Национальной академии наук Украины, Харьков, Украина
Поступила в редакцию: 7 апреля 2009 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 2009 г.

Показана возможность получения текстурированных пленок нитрида алюминия методом термохимической нитридизации сапфира в диапазоне температур 1200-1500oC в атмосфере азота с содержанием CO от 0.1 до 5 об%. Установлен диффузионный механизм формирования пленки нитрида алюминия на поверхности сапфира под воздействием восстановительной среды. PACS: 68.55.Ag, 81.05.Ea, 81.15.Np.
  1. Hiroyuki Fukuyama, Shin-ya Kusunoki, Akira Hakomori, Kenji Hiraga. J. Appl. Phys., 100, 024 905 (2006)
  2. Wataru Nakao, Hiroyuki Fukuyama. J. Cryst. Growth, 259, 302 (2003)
  3. A.Ya. Danko, M.A. Rom, N.S. Sidelnikova, Kh.Sh. Kaltaev, S.V. Nizhankovsky, A.I. Fedorov. Functional Mater., 14, 460 (2007)
  4. Xidong Wang, Wenchao Li, Seshadri Seetharaman. Scandinavian J. Metallurgy, 31, 1 (2002)
  5. Wataru Nakao, Hiroyuki Fukuyama, Kazuhiro Nagata. J. Amer. Ceram. Soc., 85, 889 (2002)
  6. Термодинамические свойства индивидуальных веществ. Справочное издание (М., Наука, 1978) т. 1, кн. 1

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.