"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Влияние этанола на оптические и электрофизические параметры пористого кремния
Болотов В.В.1, Стенькин Ю.А.1, Росликов В.Е.1, Кан В.Е.1, Пономарева И.В.1, Несов С.Н.1
1Омский филиал Института физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук, Омск, Россия
Поступила в редакцию: 21 октября 2008 г.
Выставление онлайн: 19 июня 2009 г.

Методами комбинационного рассеяния света, инфракрасной спектроскопии и измерением вольт-амперных характеристик проведено исследование влияния адсорбции паров этанола на свойства структур на основе пористого кремния. Обнаружено уменьшение сопротивления слоев пористого кремния и одновременный рост интенсивности полосы инфракрасного поглощения, обусловленной наличием групп (OH)-... x(OH)- (x=1,2,...) при экспозиции в парах этанола и наоборот, рост сопротивления пленки пористого кремния и уменьшение поглощения на группах OH- при дегазации. Наблюдаемый эффект объясняется изменением области обеднения в элементах скелетона p-Si за счет электростатического взаимодействия групп (OH)- с положительно заряженными поверхностными дефектами. Обсуждается влияние на рост проводимости кремния центров с водородной связью типа Si-OH...OH-C2H5. PACS: 61.43.Gt, 81.05.Rm, 73.61.Cw, 78.30.Am, 78.66.Db, 81.40.Tv, 81.40.Rs
  1. L. Boarino, C. Baratto, F. Geobaldo, G. Amato, E. Comini, A.M. Rossi, G. Faglia, G. Le'rondel, G. Sberveglieri. Mater. Sci. Eng. B, 69--70, 210 (2000)
  2. Е.А. Константинов, Л.А. Осминкина, К.С. Шаров, Е.В. Курепина, П.К. Кашкаров, В.Ю. Тимошенко. ЖЭТФ, 126, 857 (2004)
  3. В.В. Болотов, И.В. Пономарева, Ю.А. Стенькин, В.Е. Кан. ФТП, 41, 981 (2007)
  4. Л.А. Осминкина, Е.А. Константинова, К.С. Шаров, П.К. Кашкаров, В.Ю. Тимошенко. ФТП, 39, 365 (2005)
  5. А.С. Воронцов, Л.А. Осминкина, А.Е. Ткаченко, Е.А. Константинова, В.Г. Еленский, В.Ю. Тимошенко, П.К. Кашкаров. ФТП, 41, 972 (2007)
  6. V. Barone, F. Lelj, N. Russo, M. Toscano. Sol. St. Commun., 59, 433 (1986)
  7. A. Motohashi, M. Ruike, M. Kawakami, H. Aoyagi, A. Kinoshita, A. Satou. Jpn. J. Appl. Phys., 35, 4253 (1996)
  8. A.C. Adams, F.B. Alexander, C.D. Capio, T.E. Smith. J. Electrochem. Soc., 128, 1545 (1981)
  9. P. Gupta, A.C. Dillon, A.S. Bracker, S.M. George. Surf. Sci., 245, 360 (1991)
  10. J.A. Glass Jr., E.A. Wovchko, J.T. Yates, Jr. Surf. Sci., 338, 125 (1995)
  11. T. Tsuboi, T. Sakka, Y.H. Ogata. Sol. St. Commun., 109, 195 (1999)
  12. N. Ookubo, H. Ono, Y. Ochiai, Y. Mochizuki, S. Matsui. Appl. Phys. Lett., 61, 940 (1992)
  13. C. Tsai, K.-H. Li, J. Sarathy, S. Shih, J.C. Campbell. Appl. Phys. Lett., 59, 2814 (1991)
  14. W. Theib. Surf. Sci. Rep., 29, 91 (1997)
  15. R.C. Newman, R.C. Smith. J. Phys. Chem. Sol., 30, 1493 (1969)
  16. А.А. Копылов, А.Н. Холодилов. ФТП, 31 (5), 556 (1997)
  17. Z.C. Feng, A.T.S. Wee, K.L. Tan. J. Phys. D: Appl. Phys., 27, 1968 (1997)
  18. E.A. Petrova, K.N. Bogoslovskaya, L.A. Balagurov, G.I. Kochoradze. Mater. Sci. Eng. B, 69--70, 152 (2000)
  19. I.H. Campbell, P.M. Fauchet. Sol. St. Commun., 58, 739 (1986)
  20. Л.М. Бабков, Г.А. Пучковская, С.П. Макаренко, Т.А. Гаврилко. ИК спектроскопия молекулярных кристаллов с водородными связями (Киев, Наук. думка, 1989)
  21. С.М. Бреховских, В.А. Тюльнин. Радиационные дефекты в неорганических стеклах (М., Наука, 1988)
  22. А.В. Иогансен. Водородная связь (М., Наука, 1981) с. 112
  23. S.J. Pearton, J.W. Corbett, T.S. Shi. Appl. Phys. A, 43, 153 (1987)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.