"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Электронный парамагнитный резонанс и фотолюминесценция в пиролитических пленках нитрида кремния при ионном облучении аргоном и молекулярным азотом
Демидов Е.С.1, Добычин Н.А.1, Карзанов В.В.1, Марычев М.О.1, Сдобняков В.В.1
1Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского, Нижний Новгород, Россия
Поступила в редакцию: 27 ноября 2008 г.
Выставление онлайн: 19 июня 2009 г.

При 293 K исследовались фотолюминесценция и электронный парамагнитный резонанс пиролитических пленок нитрида кремния, облученных ионами аргона или молекулярными ионами азота и отожженных при температурах 500-1100oC. Спектр поглощения свидетельствует о том, что широкая полоса фотолюминесценции в области 400-600 нм связана с электронными переходами между хвостами зон. Облучение ионами аргона с малыми дозами незначительно понижает интенсивность фотолюминесценции, а с большими дозами может после отжигов при 800-900oC усиливать ее более чем в 2 раза. Вместе с тем облучение ионами азота приводит к значительному, более чем на порядок, уменьшению интегральной интенсивности фотолюминесценции. Наблюдалась корреляция изменения интенсивности фотолюминесценции и амплитуды спектров электронного парамагнитного резонанса при отжигах пленок нитрида кремния. PACS: 61.72.Ww, 61.80.Jh, 78.55.Hx
  1. D.T. Krick, P.M. Lenahan, J. Kanicki. Phys. Rev. B, 38 (12), 2826 (1988)
  2. W.L. Warren, P.M. Lenahan, S.E. Curry. Phys. Rev. Lett., 65 (2), 207 (1990)
  3. W.L. Warren, P.M. Lenahan. Phys. Rev. B, 42 (3), 1773 (1990)
  4. W.L. Warren, J. Kanicki, J. Robertson, E.N. Poindexter, P.J. McWhorter. J. Appl. Phys., 74 (6), 4034 (1993)
  5. S.V. Deshpande, E. Gulari. S.W. Brown, S.C. Rand. J. Appl. Phys., 77, 15 (1995)
  6. И.Е. Тысченко, В.А. Володин, Л. Реболе, М. Фельсков, В. Скорупа. ФТП, 33, 559 (1999)
  7. Kwang Soo Seol, Tsuyoshi Futami, Takashi Watanabe, Yoshimichi Ohki, Makoto Takiyama. J. Appl. Phys., 85, 9 (1999)
  8. G. Pacchioni, D. Erbetta. Phys. Rev. B, 60 (18), 12 617 (1999)
  9. Zhizhong Yuan, Dongsheng Li, Minghua Wang, Peiliang Chen, Daoren Gong, Lei Wang, Deren Yang. J. Appl. Phys., 100, 083 106 (2006)
  10. Rui Huang, Kunji Chen, Peigao Han, Hengping Dong, Xiang Wang, Deyuan Chen, Wei Li, Jun Xu, Zhongyuan Ma, Xinfan Huang. Appl. Phys. Lett., 90, 093 515 (2007)
  11. M. Molinari, H. Rinnert, M. Vergnat. J. Appl. Phys., 101, 123 532 (2007)
  12. Таблицы физических величин. Справочник, под ред. И.К. Кикоина (М., Мир, 1976) с. 635
  13. В.И. Белый, Л.Л. Васильева, В.А. Гриценко и др. Нитрид кремния в электронике, под ред. А.В. Ржанова (Новосибирск, Наука, 1982)
  14. D. Jousse, J. Kanicki, J.H. Stathis. Appl. Phys. Lett., 54, 1043 (1989)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.