"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Исследование оптических свойств аморфного углерода, модифицированного платиной
Ременюк А.Д.1, Звонарева Т.К.1, Захарова И.Б.1, Толмачев В.А.1, Беляков Л.В.1, Перова Т.С.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 23 октября 2008 г.
Выставление онлайн: 19 июня 2009 г.

Исследованы пленки аморфного углерода alpha-C и пленки модифицированного платиной композита на его основе alpha-C-Pt, полученные методом магнетронного распыления в широком диапазоне толщин и концентраций модифицирующей платины, изготовленные при сохранении оптимального для каталитической активности alpha-C-Pt режима. Для исследования использованы методы эллипсометрии, инфракрасной и рамановской спектроскопии. На основании анализа спектров показано, что кластеры платины встраиваются в систему графеновых плоскостей аморфного углерода без существенной перестройки самой углеродной структуры, а увеличение количества модифицирующей платины в составе пленки alpha-C-Pt приводит к уменьшению размеров графеновых кластеров. PACS: 81.15.Cd, 78.20. Ci, 78.30.-j
  1. E. Thune, E. Carpene, K. Sauthoff, M. Seibt, P. Reinke. J. Appl. Phys., 98, 034 304 (2005)
  2. B. Shi, W.J. Meng, T.L. Daulton. Appl. Phys. Lett., 85, 4352 (2004)
  3. X. Fan, E.C. Dickey, S.J. Pennicook, M.K. Sunkara. Appl. Phys. Lett., 75, 2740 (1999)
  4. В.И. Иванов-Омский, Т.К. Звонарева, Г.С. Фролова. ФТП, 34, 1450 (2000)
  5. С.Г. Ястребов, В.И. Иванов-Омский, В.А. Кособукин, Ф. Думитраче, К. Морошану. Письма ЖТФ, 30 (23), 47 (2004)
  6. Э.А. Сморгонская, Т.К. Звонарева, Е.И. Иванова, И.И. Новак, В.И. Иванов-Омский. ФТТ, 45, 1579 (2003)
  7. В.И. Иванов-Омский, А.В. Колобов, А.В. Лодыгин, С.Г. Ястребов. ФТП, 38, 1463 (2004).
  8. Ю.В. Плесков, Ю.Е. Евстигнеева, А.М. Баранов. Электрохимия, 37 (6), 755 (2001)
  9. В.И. Иванов-Омский, Э.А. Сморгонская. ФТП, 32, 931 (1998)
  10. В.И. Иванов-Омский, Э.А. Сморгонская. ФТП, 39, 970 (2005)
  11. Т.К. Звонарева, В.И. Иванов-Омский, А.В. Нащекин, Л.В. Шаронова. ФТП, 34, 96 (2000)
  12. А.А. Нечитайлов, Т.К. Звонарева, А.Д. Ременюк, В.А. Толмачев, Д.Н. Горячев, О.С. Ельцина, Л.В. Беляков, О.М. Сресели. ФТП, 42, 1273 (2008)
  13. Р. Аззам, Н. Башара. Эллипсометрия и поляризованный свет (М., Мир, 1981)
  14. В.А. Толмачев. Оптич. журн., 66, 20 (1999)
  15. Т.К. Звонарева, Е.И. Иванова, Г.С. Фролова, В.М. Лебедев, В.И. Иванов-Омский. ФТП, 36 (6), 734 (2002)
  16. B. Bousher-Fabre, C. Godet, M. Lacerda, S. Charvet, K. Zellama, D. Ballutaud. J. Appl. Phys., 95(7), 3427 (2004)
  17. S.G. Yastrebov, V.I. Ivanov-Omskii, V.I. Siklitsky, A.A. Sitnikova. J. Non-Cryst. Sol., 227-- 230, 622 (1998)
  18. V.I. Ivanov-Omskii, S.G. Yastrebov. Diamond Relat. Mater., 8, 554 (1999)
  19. R. Bouzerar, M. Benlahsen, B. Racinn, J.C. Picot. J. Appl. Phys., 93(12), 9953 (2003)
  20. C.N.R. Rao. Chemical Applications of Infrared Spectroscopy (Academic Press, N.Y.--London, 1963)
  21. A.C. Ferrari, J. Robertson. Phys. Rev. B, 61, 14 095 (2000)
  22. A.C. Ferrari, S.E. Rodil, J. Robertson. Phys. Rev. B, 67, 155 306 (2003)
  23. R.McCann, S.S. Roy, P. Papakonstantinou, J.A. McLaughlin, S.C. Ray. J. Appl. Phys., 97, 073 522 (2005)
  24. H.X. Han, B.J. Feldman. Sol. St. Commun., 65 (9), 921 (1988)
  25. Т.К. Звонарева, В.М. Лебедев, Т.А. Полянская, Л.В. Шаронова, В.И. Иванов-Омский. ФТП, 34, 1135 (2000)
  26. J. Ristein, R.T. Stief. K. Ley. J. Appl. Phys., 84 (7), 3836 (1998)
  27. J.N. Kayfman, S. Metin, D.D. Saperstein. Phys. Rev. B, 39, 13 053 (1989)
  28. S. Bhattacharyya, C. Cardinaud, G. Turban. J. Appl. Phys., 83 (8), 4491 (1998)
  29. Y. Hayashi, G. Yu, M.M. Rahman, K.M. Krishna, T. Soga, T. Jimbo, M. Umeno. J. Appl. Phys., 89, 7924 (2001)
  30. S. Graig, G.I. Harding. Thin Sol. Films, 97, 345 (1982)
  31. L.J. Bellamy. The Infrared Spectra of Complex Molecules (London.--N.Y., John Wiley, 1954)
  32. C. Wang, S. Yang, H. Li, J. Zhang. J.. Appl. Phys., 101, 013 501 (2007).

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.