"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Влияние монооксида углерода на вольт-фарадные характеристики МОП диодов Pd-SiO2-Si
Калыгина В.М.1, Грицык В.Ю.1
1Сибирский физико-технический институт им. акад. В.Д. Кузнецова Томского государственного университета, Томск, Россия
Поступила в редакцию: 7 июля 2008 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2009 г.

Исследовано влияние монооксида углерода на вольт-фарадные характеристики МОП диодов Pd-SiO2-n-Si и временные зависимости изменений емкости при фиксированных смещениях на диоде. В отличие от других восстановительных газов, изменение емкости в газовой смеси CO/воздух имеет немонотонный характер. Во время экспозиции в газовой атмосфере вольт-фарадные характеристики сначала смещаются в область более высоких положительных напряжений, а затем они возвращаются и движутся вдоль оси напряжений в более низкие смещения. Резкий спад емкости в течение первых нескольких секунд газового импульса сменяется более медленным ростом емкости до нового стационарного значения, которое зависит от концентрации монооксида углерода. Результаты объясняются с учетом мостиковой и линейной форм адсорбции CO на поверхности SiO2. PACS: 73.40.Qv, 81.65.Mq, 82.65.+r, 85.30.Tv
  1. A. Salomonsson, M. Eriksson, H. Dannetun. J. Appl. Phys., 98, 014 505 (2005)
  2. В.И. Балюба, В.Ю. Грицык, Т.А. Давыдова, В.М. Калыгина, С.С. Назаров, А.В. Панин, Л.С. Хлудкова. ФТП, 40, 1470 (2006)
  3. В.И. Балюба, В.Ю. Грицык, Т.А. Давыдова, В.М. Калыгина, С.С. Назаров, Л.С. Хлудкова. ФТП, 39, 285 (2005)
  4. В.И. Гаман, М.О. Дученко, В.М. Калыгина. Изв. вузов. Физика, N 1, 67 (1998)
  5. В.И. Гаман, В.И. Балюба, Т.А. Давыдова, В.Ю. Грицык, В.М. Калыгина, Л.С. Хлудкова. Изв. вузов. Физика, N 11, 3 (2001)
  6. L. Li, W. Wlodarski, S. Ippolito. Sens. Actuators B, 111- 112, 130 (2005)
  7. L. Li, W. Wlodarski, K. Galatsis, D.A. Powell. Sens. Actuators B, 96, 610 (2003)
  8. В.И. Балюба, Т.А. Давыдова, В.М. Калыгина, Л.С. Хлудкова. Сб. тр. V Межд. конф. "Актуальные проблемы электронного приборостроения" (АПЭП-2000) (Новосибирск, 2000) т. II, с. 129
  9. J. RaviPrakash, A.H. McDaniel, M. Horn, L. Pilione, P. Sunal, R. Messier, R.T. McGrath, F.K. Schweighardt. Sens. Actuators B, 120, 439 (2007)
  10. I.J. Kim, S.D. Han, I. Singh, H.D. Lee, J.S. Wang. Sens. Actuators B, 107, 825 (2005)
  11. L.L. Li, W. Wlodarski, K. Galatsis, D.A. Powell. Sens. Actuators B, 96, 610 (2003)
  12. A. Salehi, D.J. Kalantari. Sens. Actuators B, 122, 69 (2007)
  13. A. Salehi, A. Nikfarjam. Sens. Actuators B, 101, 394 (2004)
  14. О.В. Крылов, В.Ф. Киселев. Адсорбция и катализ на переходных металлах и оксидах (М., Химия, 1981) гл. 2, 6
  15. Н.М. Попова, Л.В. Бабенкова, Г.А. Савельева. Адсорбция и взаимодействие простейших газов с металлами восьмой группы (CO, H2, O2) (Алма-Ата, Наука, 1979)
  16. Н.М. Попова. Влияние носителя и структуры металлов на адсорбцию газов (Алма-Ата, Наука, 1980) с. 56
  17. G.F. Maclay, K.W. Jelley, S. Nowroozi-Esfahani, M. Formosa. Sens. Actuators, 14, 331 (1988)
  18. В.И. Гаман, В.И. Балюба, Т.А. Давыдова, В.Ю. Грицык, В.М. Калыгина. ФТП, 41, 341 (2008)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.