Вышедшие номера
Оптические свойства пленок GaN/Al2O3, легированных кремнием
Заяц Н.С.1, Генцарь П.А.1, Бойко В.Г.1, Литвин О.С.1, Вуйчик Н.В.1, Стронский А.В.1, Янчук И.Б.1
1Институт физики полупроводников им. В.Е. Лашкарева Национальной академии наук Украины, Киев, Украина
Поступила в редакцию: 30 июля 2008 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 2009 г.

Проведены морфологические и оптические исследования пленок GaN, легированных кремнием (уровень легирования NSi=1.5· 1019 см-3), выращенных методом газофазной эпитаксии из металлорганических соединений на подложках из сапфира, ориентированных по кристаллографической оси c. Для выращенных пленок GaN получены следующие физические параметры: энергия электронного перехода E0, коэффициент поглощения alpha, показатель преломления n, частоты поперечных и продольных оптических колебаний решетки, характерные для кристаллических пленок GaN. PACS: 61.72.Vv, 81.15.Gh, 78.20.Ci, 78.30.Fs