"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Метод Laplace-DLTS с выбором параметра регуляризации по L-кривой
Левин М.Н.1, Татаринцев А.В.1, Ахкубеков А.Э.1
1Воронежский государственный университет, Воронеж, Россия
Поступила в редакцию: 4 февраля 2008 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 2009 г.

Метод DLTS (Deep Level Transient Spectroscopy) является одним из основных методов, широко используемых для определения параметров дефектов, приводящх к возникновению глубоких уровней в запрещенной зоне полупроводникового материала. Предложено использовать подход L-кривой при выборе параметра регуляризации в методе Laplace-DLTS для исключения некотролируемых ошибок и повышения достоверности получаемых результатов. Возможности метода продемонстрированы численным анализом модельного релаксационного сигнала, содержащего 3 экспоненты с близкими значениями показателей и малую шумовую составляющую. Показано, что предложенный вариант Laplace-DLTS с использованием L-кривой для выбора параметра регуляризации или LL-DLTS обладает большей надежностью по сравнению с методом Laplace-DLTS с выбором параметра регуляризации по невязке. PACS: 71.55.Gs, 61.72.S-
  1. D.V. Lang. J. Appl. Phys., 45 (7), 3023 (1974)
  2. D.D. Nolte, E.E. Haller. J. Appl. Phys., 62 (3), 900 (1987)
  3. H. Stehfest. Commun. ACM, 13 (1), 47 (1970)
  4. D.P. Gaver. Oper. Res., 14 (3), 444 (1966)
  5. L. Dobaczewski, P. Kaczor, I.D. Hawkins, A.R. Peaker. J. Appl. Phys., 76 (1), 194 (1994)
  6. L. Dobaczewski, A.R. Peaker, K. Bonde Nielsen. J. Appl. Phys., 96 (9), 4689 (2004)
  7. S.W. Provencher. Computer Phys. Communications, 27, 213 (1982)
  8. А.П. Тихонов, В.Я. Арсенин. Методы решения некоторых задач (М., Наука, 1979)
  9. В.А. Морозов. Регулярные методы решения некорректно поставленных задач (М., Наука, 1987)
  10. C.L. Lawson, R.J. Hanson. Solving Least Squares Problems (Prentice-Hall, Englewood Cliffs, 1974)
  11. P.C. Hansen. SIAM Rev., 34, 561 (1992)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.