"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Моделирование деградации рельефа нанопористого кремния в процессе отжига в неоднородном температурном поле
Костишко Б.М.1, Золотов А.В.1, Нагорнов Ю.С.1
1Ульяновский государственный университет, Ульяновск, Россия
Поступила в редакцию: 22 января 2007 г.
Выставление онлайн: 17 февраля 2009 г.

Представлены результаты моделирования процессов термического отжига пористого кремния под действием высокотемпературного нагрева как в однородном температуром поле, так и в условиях наличия в системе линейного градиента температур. PACS: 61.43.Gt, 82.20.Wt, 81.05.Rm, 81.40.Ef, 05.10.Ln, 07.05.Tp
  1. А.В. Зверев, И.Г. Неизвестный, Н.Л. Шварц, З.Ш. Яновицкая. ФТП, 35, 1067 (2001)
  2. B.M. Kostishko, A.V. Zolotov, Sh.R. Atazhanov. Phys. Low-Dim. Structur. 3/4, 1 (2004)
  3. J.M. McCoy, P.A. Maksym. Semicond. Sci. Technol., 6, 141 (1991)
  4. S. Kersulis, V. Mitin. Semicond. Sci. Technol., 10, 653 (1995)
  5. А.М. Орлов, Б.М. Костишко, А.А. Скворцов. Физические основы технологии полупроводниковых приборов и интегральных микросхем (Ульяновск, Изд-во УлГУ, 2001)
  6. A.C. Levi, M. Kotra. J. Phys.: Condens. Matter, 9, 299 (1997)
  7. W. Jian, Z. Kaiming, X. Xide. J. Phys.: Condens. Matter, 6, 989 (1994)
  8. N. Ott, M. Nerdng, G. Muller, R. Brendel, H.P. Strunk. Phys. Status Solidi A, 197 (1), 93 (2003)
  9. N. Ott, M. Nerding. J. Appl. Phys., 95 (2), 497 (2004)
  10. V.Yu. Timoshenko, Th. Dittrich, I. Sieber. Phys. Status Solidi A, 182, 325 (2000)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.