"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
О воздействии оптического излучения на чувствительность газовых сенсоров на основе пленок SnO2-x
Гуляев А.М.1, Ван Ле Ван1, Сарач О.Б.1, Мухина О.Б.1
1Московский энергетический институт (ТУ), Москва, Россия
Поступила в редакцию: 13 августа 2007 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2008 г.

Проведено исследование влияния излучения красного, желтого, зеленого, синего светодиодов на чувствительность газовых сенсоров на основе пленок диоксида олова, полученных реактивным магнетронным напылением с добавками Sb, In и каталитическими покрытиями Pt, Pd к парам этилового, изопропилового спиртов, ацетона, бензола. Впервые показано, что все виды излучения для всех перечисленных реагентов увеличивают чувствительность сенсоров при дозах реагентов 1-10 ppm от 2 до 100 раз в случае низкой чувствительности сенсоров без облучения. Обнаружено, что характер зависимости чувствительности сенсоров от интенсивности облучения определяется типом каталитического покрытия, линейно возрастая в случае Pd и резко увеличивается при максимальной интенсивности в случае Pt. Обсуждается природа данного явления с позиций адсорбции паров и процессов проводимости кристаллитов пленок диоксида олова. PACS: 07.07.Df, 85.60.Gz, 85.60.Jb
  1. Ф.Ф. Волькенштейн. Электронные процессы на поверхности полупроводников при хемосорбции (М., Наука, 1987)
  2. Ф.Ф. Волькенштейн. Электронная теория катализа на полупроводниках (М., Физматлит, 1960)
  3. С. Моррисон. Химическая физика поверхности твердого тела (М., Мир, 1980)
  4. Yu. Mozukava, Sh. Nakamura. Proc. 2nd Int. Conf. on Solid Surfaces. Jpn. J. Appl. Phys. Suppl. 2, pt 2, 253 (1974)
  5. M. Patreva, F. Trifino, G. Benedex. Proc. 2nd Intern. Conf. on Solid Surfaces, Japan [J. Appl. Phys., Suppl. 2, pt 2, 253 (1974)]
  6. А.М. Гуляев, О.Б. Мухина, О.Б. Сарач, А.В. Титов. Матер. конф. "Сенсор-2001" (АНО "ИРИСЭН") с. 10
  7. М.А. Слепнева, А.М. Гуляев, О.Б. Сарач, Ю.Ю. Шведова, О.Б. Мухина. Матер. докл. Межд. науч.-техн. сем. "Шумовые и деградационные процессы в полупроводниковых приборах" (Москва, 15--18 ноября 2005 г.) (М., Изд-во МЭИ, 2006) с. 77
  8. А.В. Титов, А.М. Гуляев, И.Б. Варлошов, В.А. Перфилов. Матер. докл. Межд. науч.-техн. сем. "Шумовые и деградационные процессы в полупроводниковых приборах" (Москва, 3--6 декабря 2002 г.) (М., Изд-во МЭИ, 2003) с. 121
  9. В.А. Рабинович, З.Я. Хавин. Краткий химический справочник, изд. 2 (Л., Химия, 1978).

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.