"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
О воздействии оптического излучения на чувствительность газовых сенсоров на основе пленок SnO2-x
Гуляев А.М.1, Ван Ле Ван1, Сарач О.Б.1, Мухина О.Б.1
1Московский энергетический институт (ТУ), Москва, Россия
Поступила в редакцию: 13 августа 2007 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2008 г.

Проведено исследование влияния излучения красного, желтого, зеленого, синего светодиодов на чувствительность газовых сенсоров на основе пленок диоксида олова, полученных реактивным магнетронным напылением с добавками Sb, In и каталитическими покрытиями Pt, Pd к парам этилового, изопропилового спиртов, ацетона, бензола. Впервые показано, что все виды излучения для всех перечисленных реагентов увеличивают чувствительность сенсоров при дозах реагентов 1-10 ppm от 2 до 100 раз в случае низкой чувствительности сенсоров без облучения. Обнаружено, что характер зависимости чувствительности сенсоров от интенсивности облучения определяется типом каталитического покрытия, линейно возрастая в случае Pd и резко увеличивается при максимальной интенсивности в случае Pt. Обсуждается природа данного явления с позиций адсорбции паров и процессов проводимости кристаллитов пленок диоксида олова. PACS: 07.07.Df, 85.60.Gz, 85.60.Jb
  • Ф.Ф. Волькенштейн. Электронные процессы на поверхности полупроводников при хемосорбции (М., Наука, 1987)
  • Ф.Ф. Волькенштейн. Электронная теория катализа на полупроводниках (М., Физматлит, 1960)
  • С. Моррисон. Химическая физика поверхности твердого тела (М., Мир, 1980)
  • Yu. Mozukava, Sh. Nakamura. Proc. 2nd Int. Conf. on Solid Surfaces. Jpn. J. Appl. Phys. Suppl. 2, pt 2, 253 (1974)
  • M. Patreva, F. Trifino, G. Benedex. Proc. 2nd Intern. Conf. on Solid Surfaces, Japan [J. Appl. Phys., Suppl. 2, pt 2, 253 (1974)]
  • А.М. Гуляев, О.Б. Мухина, О.Б. Сарач, А.В. Титов. Матер. конф. "Сенсор-2001" (АНО "ИРИСЭН") с. 10
  • М.А. Слепнева, А.М. Гуляев, О.Б. Сарач, Ю.Ю. Шведова, О.Б. Мухина. Матер. докл. Межд. науч.-техн. сем. "Шумовые и деградационные процессы в полупроводниковых приборах" (Москва, 15--18 ноября 2005 г.) (М., Изд-во МЭИ, 2006) с. 77
  • А.В. Титов, А.М. Гуляев, И.Б. Варлошов, В.А. Перфилов. Матер. докл. Межд. науч.-техн. сем. "Шумовые и деградационные процессы в полупроводниковых приборах" (Москва, 3--6 декабря 2002 г.) (М., Изд-во МЭИ, 2003) с. 121
  • В.А. Рабинович, З.Я. Хавин. Краткий химический справочник, изд. 2 (Л., Химия, 1978).
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.