"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Разработка фотоприемников для преобразователей изображений: легирование кремния селеном из газовой фазы
Астров Ю.А.1, Шуман В.Б.1, Лодыгин А.Н.1, Порцель Л.М.1, Махова А.Н.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 13 августа 2007 г.
Выставление онлайн: 19 марта 2008 г.

Высокоскоростная регистрация процессов в инфракрасной области спектра может быть осуществлена с использованием преобразователей изображений "полупроводниковый фотоприемник-газоразрядный промежуток". С целью создания фотоприемников с необходимыми свойствами исследовано влияние давления пара селена PSe на эффективность легирования монокристаллического кремния селеном. Введение селена проводилось методом диффузии в запаянных кварцевых ампулах при температуре 1240oC в диапазоне PSe=0.27-1.0 атм. Легированные образцы исследовались с помощью температурных измерений эффекта Холла. Обнаружена сильная зависимость концентрации введенных примесных центров от величины PSe. Найдено, что эффект легирования одинаков для исходных кристаллов, полученных зонной плавкой и методом Чохральского. С использованием полученных данных изготовлены фотоприемники, которые позволяют решать задачи высокоскоростной термографии с применением рассматриваемых преобразователей изображений. PACS: 71.55.-i, 74.62.Dh, 85.60.Gz
  1. Ш.С. Касымов, Л.Г. Парицкий. Деп. ВИНИТИ, N 2693 (1974)
  2. Ю.А. Астров, Л.М. Порцель. ЖТФ, 51, 2502 (1981)
  3. Ю.А. Астров, Л.Г. Парицкий, Л.М. Порцель, С.М. Рывкин. Деп. Электроника, N ДЭ-2472, 1978 г
  4. L.M. Portsel, Yu.A. Astrov, I. Reimann, E. Ammelt, H.-G. Purwins. J. Appl. Phys., 85, 3960 (1999)
  5. V.M. Murugov, A.G. Kravchenko, V.P. Lazarchuk, D.N. Litvin, V.V. Mis'ko, S.I. Petrov, A.V. Senik, Yu.N. Sheremetiev. Proc. SPIE, 4948, 801 (2003)
  6. N. Sclar. Prog. Quant. Electron., 9, 149 (1984)
  7. N. Sclar. Infr. Phys., 16, 435 (1976)
  8. Г.Б. Горлин, В.Т. Туланов, Х.Б. Сиябеков. ЖТФ, 67, 142 (1997)
  9. Yu.A. Astrov, L.M. Portsel, A.N. Lodygin, V.B. Shuman, E.V. Beregulin. Sol. St. Phenomena, 108-- 109, 401 (2005)
  10. E. Janzen, R. Stedman, G. Grossmann, H.G. Grimmeiss. Phys. Rev. B, 29, 1907 (1984)
  11. А.А. Таскин, Е.Г. Тишковский. ФТП, 30, 1306 (1998)
  12. C.-S. Kim, E. Ohta, M. Sakata. Jpn. J. Appl. Phys., 18, 909 (1979)
  13. N. Sclar. J. Appl. Phys., 52, 5207 (1981)
  14. Р.А. Лидин, В.А. Молочко, Л.Л. Андреева. Химические свойства неорганических веществ (М., Химия, 2000)
  15. А.А. Таскин, Е.Г. Тишковский. ФТП, 26, 641 (2002)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.