"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Бистабильность и электрическая активность комплекса вакансия--два атома кислорода в кремнии
Мурин Л.И.1, Маркевич В.П.1, Медведева И.Ф.1, Dobaczewski L.2
1Объединенный институт физики твердого тела и полупроводников Национальной академии наук Белоруссии, Минск, Белоруссия
2Institute of Physics, Polish Academy of Science, Warsaw, Poland
Поступила в редакцию: 14 марта 2006 г.
Выставление онлайн: 20 октября 2006 г.

Методами инфракрасного поглощения, эффекта Холла и нестационарной емкостной спектроскопии исследованы комплексы вакансия-два атома кислорода (VO2) в облученных кристаллах Si n-типа с различным уровнем легирования. Подтверждена обнаруженная ранее бистабильность VO2 и приведены доказательства электрической активности дефекта в метастабильной конфигурации VO2*. Установлено, что в данной конфигурации дефект обладает акцепторным уровнем, расположенным у EC-0.06 эВ. Показано, что полосы поглощения у 967 и 1023 см-1 обусловлены отрицательно заряженным состоянием VO2*, а полосы у 928 и 1004 см-1 соответствуют нейтральному зарядовому состоянию дефекта. PACS: 61.80.Fe, 61.82.Fk, 71.55.Cc, 78.30.Am
  1. Oxygen in Silicon, ed. by F. Shimura [Semiconductors and Semimetals (Academic, London, 1994) v. 42]
  2. R.C. Newman. J. Phys.: Condens. Matter., 12, R335 (2000)
  3. M. Pesola, J. Von Boehm, T. Mattila, R.M. Nieminen. Phys. Rev. B, 60, 11 449 (1999)
  4. J. Coutinho, R. Jones, P.R. Briddon, S. Oberg. Phys. Rev. B, 62, 10 824 (2000)
  5. G.D. Watkins, J.W. Corbett. Phys. Rev., 121, 1001 (1961)
  6. J.W. Corbett, G.D. Watkins, R.M. Chrenko, R.S. McDonald. Phys. Rev., 121, 1015 (1961)
  7. V.P. Markevich, A.R. Peaker, L.I. Murin, N.V. Abrosimov. Appl. Phys. Lett., 82, 2652 (2003)
  8. K.L. Brower. Phys. Rev. B, 4, 1968 (1971)
  9. L.I. Murin, V.P. Markevich, T. Hallberg, J.L. Lindstrom. Sol. St. Phenomena, 69--70, 309 (1999)
  10. A.R. Bean, R.C. Newman. Sol. St. Commun., 9, 271 (1971)
  11. B.G. Svensson, J.L. Lindstrom. Phys. Rev., 34, 8709 (1986)
  12. J.L. Lindstrom, L.I. Murin, T. Hallberg, V.P. Markevich, B.G. Svensson, M. Kleverman, J. Hermansson. Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B, 186, 121 (2002)
  13. L.I. Murin, V.P. Markevich, J.L. Lindstrom, M. Kleverman, J. Hermansson, T. Hallberg, B.G. Svensson. Sol. St. Phenomena, 82--84, 57 (2002)
  14. J.W. Corbett, G.D. Watkins, R.S. McDonald. Phys. Rev., 135, 1381 (1964)
  15. J.L. Lindstrom, L.I. Murin, V.P. Markevich, T. Hallberg, B.G. Svensson. Physica B: Condens. Matter., 273--274, 291 (1999)
  16. J.L. Lindstrom, B.G. Svensson. Mater. Res. Soc. Symp. Proc., 59, 45 (1986)
  17. L.I. Murin, J.L. Lindstrom, B.G. Svensson, V.P. Markevich, C.A. Londos. Sol. St. Phenomena, 108--109, 267 (2005)
  18. L.I. Murin, J.L. Lindstrom, V.P. Markevich, A. Misiuk, C.A. Londos. J. Phys.: Condens. Matter., 17, S2237 (2005)
  19. V.V. Voronkov, R. Falster. J. Electrochem. Soc., 149, G167 (2002)
  20. V.V. Voronkov, R. Falster. J. Appl. Phys., 91, 5802 (2002)
  21. J.L. Lindstrom, L.I. Murin, B.G. Svensson, V.P. Markevich, T. Hallberg. Physica B: Condens. Matter., 340--342, 509 (2003)
  22. L.I. Murin, J.L. Lindstrom, V.P. Markevich, I.F. Medvedeva, V.J.B. Torres, J. Coutinho, R. Jones, P.R. Briddon. Sol. St. Phenomena, 108--109, 223 (2005)
  23. B.A. Komarov, V.I. Sopryakov. Phys. Status Solidi A, 66, 783 (1981)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.