"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Мезоскопические флуктуации проводимости при обеднении встроенного канала полевого транзистора
Аронзон Б.А.1, Веденеев А.С.2, Панферов А.А.1, Рыльков В.В.1,2
1Национальный исследовательский центр "Курчатовский институт", Москва, Россия
2Институт радиотехники и электроники Российской академии наук, Фрязино, Россия
Поступила в редакцию: 11 января 2006 г.
Выставление онлайн: 20 августа 2006 г.

При температуре 77 K в макроскопических Si-МОП структурах со встроенным p-каналом обнаружены мезоскопические флуктуации недиагональной компоненты тензора сопротивления Rxy в условиях обеднения канала свободными дырками. Установлено, что флуктуации delta Rxy обусловлены переходом от трехмерной к квазидвумерной перколяционной проводимости свободных дырок во флуктуационном потенциале ионизованных примесей легированного поверхностного p-слоя, обедняемого под действием эффекта поля. Из анализа delta Rxy получены оценки радиуса корреляции перколяционного кластера Lc, определяющего масштаб электрической неоднородности структуры, в зависимости от потенциала затвора Vg. Показано, что зависимость Lc от Vg хорошо описывается в рамках представлений о нелинейном экранировании флуктуационного потенциала дырками и о перколяционном характере их транспорта при изменении Lc от значений ~ 10 нм до ~ 1 мкм. PACS: 73.40.Qv, 73.23.-b
  1. Y. Imry. Introduction to mesoscopic physics (Oxford, Oxford University Press, 1997)
  2. Б.Л. Альтшулер, Б.З. Спивак. Письма ЖЭТФ, 42, 363 (1985); Б.Л. Альтшулер, Д.Е. Хмельницкий. Письма ЖЭТФ, 42, 291 (1985)
  3. М.Э. Райх, И.М. Рузин. Письма ЖЭТФ, 43, 437 (1986)
  4. Б.И. Шкловский, А.Л. Эфрос. Электронные свойства легированных полупроводников (М., Наука, 1979)
  5. А.О. Орлов, М.Э. Райх, И.М. Рузин, А.К. Савченко. ЖЭТФ, 96, 2172 (1989)
  6. А.И. Якимов, Н.П. Степина, А.В. Двуреченский. ЖЭТФ, 102, 1882 (1992)
  7. Б.И. Белевцев, Е.Ю. Беляев, Е.Ю. Копейченко. ФНТ, 22, 1070 (1996)
  8. Б.А. Аронзон, А.С. Веденеев, В.В. Рыльков. ФТП, 31, 648 (1997); B.A. Aronzon, V.V. Rylkov, A.S. Vedeneev, J. Leotin. Physica A, 241, 259 (1997)
  9. Б.А. Аронзон, Д.Ю. Ковалев, В.В. Рыльков. ФТП, 39, 844 (2005)
  10. В.В. Рыльков, Б.А. Аронзон, А.Б. Давыдов, Д.Ю. Ковалев, Е.З. Мейлихов. ЖЭТФ, 121, 908 (2002)
  11. B. Raquet, M. Goiran, N. Negre, J. Leotin, B. Aronzon, V. Rylkov, E. Meilikhov. Phys. Rev. B, 62, 17 144 (2000)
  12. А.О. Орлов, А.К. Савченко, Б.И. Шкловский. ФТП, 23, 1334 (1989)
  13. S. Manzini, A. Modelly. J. Appl. Phys., 65, 2361 (1989); A.S. Vedeneev, A.G. Gaivoronskii, A.G. Zhdan, A. Modelli, V.V. Rylkov, Yu.Ya. Tkach. Appl. Phys. Lett., 64, 2566 (1994)
  14. В.А. Гергель, Р.А. Сурис. ЖЭТФ, 75, 191 (1978)
  15. Б.И. Шкловский, А.Л. Эфрос. Письма ЖЭТФ, 44, 520 (1986)
  16. Б.И. Шкловский. ФТП, 13, 93 (1979)
  17. А.С. Веденеев, В.А. Гергель, А.Г. Ждан, В.Е. Сизов. Письма ЖЭТФ, 58, 368 (1993)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.