"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Инфракрасная и субмиллиметровая спектроскопия щелевых кремниевых структур
Круткова Е.Ю.1, Тимошенко В.Ю.1, Головань Л.А.1, Кашкаров П.К.1, Астрова Е.В.2, Перова Т.С.3, Горшунов Б.П.4, Волков А.А.4
1Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова (физический факультет), Москва, Россия
2Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
3Department of Electronic & Electrical Engineering, Trinity College, Dublin 2, Ireland
4Институт общей физики им. А.М. Прохорова РАН, Москва, Россия
Поступила в редакцию: 19 декабря 2005 г.
Выставление онлайн: 19 июня 2006 г.

Пропускание щелевых кремниевых структур с периодами 4 и 7 мкм исследовано в широком спектральном диапазоне методами поляризационно-чувствительной инфракрасной и субмиллиметровой спектроскопии. Экспериментальные результаты, полученные в диапазоне длин волн 1-10 мкм, объясняются в терминах геометрической оптики при учете рассеяния излучения. В дальнем инфракрасном диапазоне (20-2000 мкм) образцы проявляют сильное двулучепреломление, которое описывается моделью эффективной среды в электростатическиом приближении. Зарегистрировано влияние фотовозбуждения на оптическое пропускание и его анизотропию, что объясняется в рамках модели эффективной среды при учете взаимодействия излучения со свободными носителями заряда. PACS: 81.40.Ty, 78.30.Am, 78.70.Gq, 78.66.Sq
  1. D.L. Kendall. Ann. Rev. Mater. Sci., 9, 373 (19979)
  2. В.А. Толмачев, Л.С. Границына, Е.Н. Власова, Б.З. Волчек, А.В. Нащекин, А.Д. Ременюк, Е.В. Астрова. ФТП, 36, 996 (2002)
  3. М. Борн, Э. Вольф. Основы оптики (М., Наука, 1970)
  4. Е.В. Астрова, T.S. Perova, В.А. Толмачев, А.Д. Ременюк, J. Vij, A. Moore. ФТП, 37, 417 (2003)
  5. D. Kovalev, G. Polisski, J. Diener, H. Heckler, N. Kunzner, V.Yu. Timoshenko, F. Koch. Appl. Phys. Lett., 78, 916 (2001)
  6. F. Riboli, D. Navarro-Urrios, A. Chiasera, N. Daldosso, L. Pavesi, C.J. Oton, J. Heitmann, L.X. Yi, R. Scholz, M. Zacharias. Appl. Phys. Lett., 85, 1268 (2004)
  7. V.Yu. Timoshenko, L.A. Osminkina, A.I. Efimova, L.A. Golovan, P.K. Kashkarov, D. Kovalev, N. Kunzner, E. Gross, J. Diener, F. Koch. Phys. Rev. B, 67, 113 405 (2003)
  8. Е.Г. Гук, А.Г. Ткаченко, Н.А. Токранова, Л.С. Границына, Е.В. Астрова, Б.Г. Подласкин, А.В. Нащекин, И.Л. Шульпина, С.В. Рутковский. Письма ЖТФ, 27 (9), 64 (2001)
  9. G. Kozlov, A.A. Volkov. Millimeter and Submillimeter Wave Spectroscopy of Solids, ed. by G. Gruner (Springer, Berlin, 1998)
  10. W. Thiess. Surf. Sci. Rep., 29, 91 (1997)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.