"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Анализ частотных зависимостей проводимости МДП структур с учетом флуктуационной и туннельной теоретических моделей
Авдеев Н.А.1, Гуртов В.А.1, Климов И.В.1, Яковлев Р.А.1
1Петрозаводский государственный университет, Петрозаводск, Россия
Поступила в редакцию: 29 августа 2005 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2006 г.

Предложена методика анализа частотных зависимостей нормированной проводимости МДП структур с учетом влияния флуктуаций поверхностного потенциала и заглубления электрически активных состояний в диэлектрик. Произведен выбор параметров для оценки уширения зависимостей. Получены аналитические выражения для этих параметров. Предложен метод разделения влияния туннельного и флуктуационного механизмов уширения на форму частотной зависимости проводимости. PACS: 85.30.De, 85.30.Hi, 73.40.Qv, 72.30.+q
  1. E.H. Nicollian, A. Goetzberger. Appl. Phys. Lett., 7, 216 (1965)
  2. K.F. Schuegraf, C. Hu. Semicond. Sci. Technol., 9, 989 (1994)
  3. В.А. Гуртов. Электронные процессы в структурных металл--диэлектрик--полупроводник (Петрозаводск, Изд-во ПетрГУ, 1984)
  4. K. Lehovec. Appl. Phys. Lett., 8, 48 (1966)
  5. Ю.С. Жарких. Электрофизические характеристики неоднородных МДП структур (Киев, Наук. думка, 1980)
  6. E. Bano, T. Ouisse, L.Di Ciocco, S. Karmann. Appl. Phys. Lett., 65 (21), 55 (1994)
  7. В.Б. Бондаренко, В.В. Кораблев, Ю.И. Равич. ФТП, 38 (3), 331 (2004)
  8. Г.Л. Курышев, А.П. Ковчавцев, Н.А. Валишева. ФТП, 35 (9), 1111 (2001)
  9. E.H. Nicollian, A. Goetzberger. Bell Syst. Tech. J., 46, 1055 (1967)
  10. J.R. Brews. Sol. St. Electron., 26, 711 (1983)
  11. Е.Н. Бормонтов, С.В. Лукин. ЖТФ, 67 (10), 55 (1997)
  12. J.J. Simonne. Sol. St. Electron., 16, 121 (1973)
  13. А.Ф. Верлань, В.С. Сизиков. Методика решения интегральных уравнений с программами для ЭВМ (Киев, Наук. думка, 1978)
  14. K.K. Hung, Y.C. Cheng. J. Appl. Phys., 62 (10), 923 (1987)
  15. А.П. Барабан, В.В. Булавинов, П.П. Коноров. Электроника слоев Si--SiO-=SUB=-2-=/SUB=- на кремнии (Л., Изд-во ЛГУ, 1988)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.