Микродисковые лазеры с вынесенной контактной площадкой мостиковой конструкции, сформированные жидкостным химическим травлением
Образцова А.А.1, Пивоварова А.А.2, Комаров С.Д.1, Федосов И.С.1, Иванов К.А.1, Калюжный Н.А.2, Минтаиров С.А.2, Ильинская Н.Д.2, Яковлев Ю.П.2, Махов И.С.1, Крыжановская Н.В.1, Жуков А.Е.1
1Национальный исследовательский университет "Высшая школа экономики", Санкт-Петербург, Россия
2Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия

Email: aobraztsova@hse.ru
Поступила в редакцию: 3 февраля 2025 г.
В окончательной редакции: 10 апреля 2025 г.
Принята к печати: 17 апреля 2025 г.
Выставление онлайн: 21 мая 2025 г.
Представлен подход к созданию микролазеров с квантовыми точками на подложках GaAs с дисковым резонатором, электрическим контактом мостикового типа и опорной мезой, сформированными методом жидкостного химического травления. Мостиковая конструкция представляет собой две соединенные подвешенной золотой балкой мезаструктуры, одна из которых является, собственно, микродисковым резонатором, а вторая служит для создания вынесенного электрического контакта. Предложенный метод открывает пути для изготовления инжекционных микролазеров малого диаметра, поскольку исключает необходимость прикрепления электрического провода к верхней поверхности резонатора микролазера. Изготовлены микролазеры с мостиковым контактом, продемонстрировано формирование близкой к вертикальной стенки микрорезонатора вблизи активной области структуры, получены спектры электролюминесценции микролазеров в широком интервале токов накачки, подтверждающие возможность лазерной генерации как при комнатной, так и при повышенных температурах. Ключевые слова: микролазеры, мостиковый контакт, моды шепчущей галереи, жидкостное химическое травление.
- Y.C. Chen, X. Fan. Adv. Opt. Mater., 7 (17), 1900377 (2019)
- A.I. Nosich, E.I. Smotrova, S.V. Boriskina, T.M. Benson, P. Sewell. Optical Quant. Electron., 39, 1253 (2007)
- L. He, S.K. Ozdemir, L. Yang. Laser Photon. Rev., 7 (1), 60 (2013)
- X.F. Jiang, C.L. Zou, L. Wang, Q. Gong, Y.-F. Xiao. Laser Photon. Rev., 10 (1), 40 (2016)
- E. Stock, F. Albert, C. Hopfmann, M. Lermer, C. Schneider, S. Hofling, A. Forchel, M. Kamp, S. Reitzenstein. Advanced Mater., 25 (5), 707 (2013)
- Y. Wan, D. Jung, D. Inoue, J.C. Norman, C. Shang, A.C. Cossard, J.E. Bowers. 2018 Progress in Electromagnetics Research Symp. (Toyama, Japan, 2018) p. 249
- N.V. Kryzhanovskaya, F.I. Zubov, E.I. Moiseev, A.S. Dragunova, K.A. Ivanov, M.V. Maximov, N.A. Kalyuzhnyy, S.A. Mintairov, S.V. Mikushev, M.M. Kulagina, J.A. Guseva, A.I. Likhachev, A.E. Zhukov. Laser Phys. Lett., 19 (1), 016201 (2021)
- N.V. Kryzhanovskaya, K.A. Ivanov, N.A. Fominykh, S.D. Komarov, I.S. Makhov, E.I. Moiseev, J.A. Guseva, M.M. Kulagina, S.A. Mintairov, N.A. Kalyuzhnyy, A.I. Lihachev, R.A. Khabibullin, R.R. Galiev, A.Yu. Pavlov, K.N. Tomosh, M.V. Maximov, A.E. Zhukov. J. Appl. Phys., 134, 103101 (2023)
- Н.Д. Ильинская, А.А. Пивоварова, Е.В. Куницына, Ю.П. Яковлев. Патент 2783353 RU (Россия, 2022)
- А.А. Пивоварова, Е.В. Куницына, Г.Г. Коновалов, С.О. Слипченко, А.А. Подоскин, И.А. Андреев, Н.А. Пихтин, Н.Д. Ильинская, Ю.П. Яковлев. ЖПС, 90 (1), 102 (2023)
- N.V. Kryzhanovskaya, E.I. Moiseev, F.I. Zubov, A.M. Mozharov, M.V. Maximov, N.A. Kalyuzhnyy, S.A. Mintairov, M.M. Kulagina, S.A. Blokhin, K.E. Kudryavtsev, A.N. Yablonskiy, S.V. Morozov, Yu. Berdnikov, S. Rouvimov, A.E. Zhukov. Photon. Res., 7 (6), 664 (2019)
- M.V. Maximov, A.M. Nadtochiy, S.A. Mintairov, N.A. Kalyuzhnyy, N.V. Kryzhanovskaya, E.I. Moiseev, N.Yu. Gordeev, Yu.M. Shernyakov, A.S. Payusov, F.I. Zubov, V.N. Nevedomskiy, S.S. Rouvimov, A.E. Zhukov. Appl. Sci., 10, 1038 (2020)
- N.A. Fominykh, F.I. Zubov, K.A. Ivanov, E.I. Moiseev, A.M. Nadtochiy, S.A. Mintairov, N.A. Kalyuzhnyy, I.A. Melnichenko, V.V. Pirogov, S.A. Scherbak, B.D. Urmanov, A.V. Nahorny, N.V. Kryzhanovskaya, A.E. Zhukov. St. Petersburg Polytechnical University. J. Phys. Math., 16 (1.2), 126 (2023)
- Н.В. Крыжановская, И.С. Махов, А.М. Надточий, К.А. Иванов, Э.И. Моисеев, И.А. Мельниченко, С.Д. Комаров, С.А. Минтаиров, Н.А. Калюжный, М.В. Максимов, Ю.М. Шерняков, А.Е. Жуков. Письма ЖТФ, 50 (21), 57 (2024)
- A.E. Zhukov, E.I. Moiseev, A.M. Nadtochiy, N.A. Fominykh, K.A. Ivanov, I.S. Makhov, M.V. Maximov, F.I. Zubov, V.G. Dubrovskii, S.A. Mintairov, N.A. Kalyuzhnyy, N.Yu. Gordeev, Yu.M. Shernyakov, N.V. Kryzhanovskaya. IEEE J. Quant. Electron., 59 (1), 2000108 (2023)
- I. Makhov, S. Komarov, N. Fominykh, A. Obraztsova, V. Voitovich, N. Derkach, I. Melnichenko, N. Shandyba, N. Chernenko, M. Solodovnik, A. Lipovskii, Yu. Shernyakov, N. Kalyuzhnyy, S. Mintairov, N. Kryzhanovskaya, A. Zhukov. Optics Lett., 50 (2), 387 (2025)
- I. Makhov, K. Ivanov, E. Moiseev, N. Fominykh, A. Dragunova, N. Kryzhanovskaya, A. Zhukov. Nanomaterials, 13, 877 (2023)