"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Кинетика роста тонких пленок при зародышевом механизме формирования слоев
Дубровский В.Г.1, Цырлин Г.Э.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, Санкт-Петербург, Россия Институт аналитического приборостроения Российской академии наук, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 3 марта 2005 г.
Выставление онлайн: 20 октября 2005 г.

Исследуется кинетическая модель роста тонкой пленки на поверхности твердого тела, справедливая для случая, когда слои формируются в результате двумерного зародышеобразования. В условиях больших пересыщений газообразной фазы получены решения для функции распределения островков по размерам на начальном этапе роста, степени заполнения подложки островками на этапе коалесценции, скорости вертикального роста пленки и шероховатости ее поверхности. Эти решения выражают структурные характеристики растущей пленки через физические константы системы (межфазовая энергия на границе газ--твердое тело, активационные барьеры диффузии и десорбции) и параметры ростового процесса (температура поверхности и скорость осаждения материала). Полученные результаты позволяют проводить расчеты ростовой динамики тонких пленок в конкретных системах.
  1. Ж.И. Алфёров. ФТП, 32, 1 (1998)
  2. С.А. Кукушкин , А.В. Осипов. УФН, 168, 1083 (1998)
  3. А.А. Чернов, Е.И. Гиваргизов, Х.С. Багдасаров, В.А. Кузнецов, Л.Н. Демьянец, А.Н. Лобачев. Современная кристаллография. Т. 3. Образование кристаллов (М., Наука, 1980)
  4. A.Y. Cho, J.R. Arthur. Prog. Sol. St. Chem., 10, 157 (1975)
  5. A.V. Osipov. Thin Sol. Films, 277, 111 (1993)
  6. S.A. Kukushkin, A.V. Osipov. J. Chem. Phys., 107, 3247 (1997)
  7. С.А. Кукушкин, А.В. Осипов. ФТТ, 38, 443 (1996)
  8. С.А. Кукушкин, В.В. Слезов. Дисперсные системы на поверхности твердых тел (СПб., Наука, 1996)
  9. D. Kashchiev. Nucleation: Basic Theory with Applications (Oxford, Butterworth Heinemann, 2000)
  10. И.М. Лившиц, В.В. Слезов. ЖЭТФ, 35, 479 (1958)
  11. F.M. Kuni. Preprint N 84-178.E (Kiev, Institute of Theoretical Physics, 1984)
  12. Ф.М. Куни, А.П. Гринин. Коллоид. журн., 46, 23 (1984)
  13. K. Binder. Phys. Rev. B, 15, 4425 (1977)
  14. А.Н. Колмогоров. Изв. АН СССР. Сер. мат., 3, 355 (1937)
  15. В.З. Беленький. Геометрико-вероятностные модели кристаллизации (М., Наука, 1980)
  16. В.И. Трофимов, В.А. Осадченко. Рост и морфология тонких пленок (М., Энергоатомиздат, 1993)
  17. V.G. Dubrovskii. Phys. Status Solidi B, 171, 345 (1992)
  18. D. Kashchiev. J. Cryst. Growth, 40, 29 (1977)
  19. В.Г. Дубровский, Г.Э. Цырлин. ЖТФ, 67, 136 (1997)
  20. А.Г. Филаретов, Г.Э. Цырлин. ФТТ, 33, 1329 (1991)
  21. Г.Э. Цырлин. Письма ЖТФ, 23 (4), 61 (1997)
  22. В.Г. Дубровский, Ю.Г. Мусихин, Г.Э. Цырлин, В.А. Егоров, Н.К. Поляков, Ю.Б. Самсоненко, А.А. Тонких, Н.В. Крыжановская, Н.А. Берт, В.М. Устинов. ФТП, 38, 342 (2004)
  23. V.G. Dubrovskii. J. Phys.: Condens. Matter, 16, 6929 (2004)
  24. Справочник по специальным функциям, под ред. М. Абрамовица, И. Стиган (М., Наука, 1979)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.