"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
К эффекту больших доз при ионной имплантации кремния
Тетельбаум Д.И.1, Герасимов А.И.1
1Научно-исследовательский физико-технический институт Нижегородского государственного университета им. Н.И. Лобачевского, Нижний Новгород, Россия
Поступила в редакцию: 23 марта 2004 г.
Выставление онлайн: 20 октября 2004 г.

Для случая ионной имплантации фосфором кремния выполнен ряд экспериментов с целью выяснения механизма "эффекта больших доз". На основании экспериментальных данных сделан вывод, что данный эффект обусловлен ослаблением межатомных связей в сильно легированном фосфором аморфном кремнии и носит терморадиационно-стимулированный характер. Перерыв в облучении по достижении дозы аморфизации приводит к стабилизации аморфного состояния.
  1. Н.И. Герасименко, А.В. Двуреченский, С.И. Романов, Л.С. Смирнов. ФТП, 6 (10), 1978 (1972)
  2. Н.И. Герасименко, А.В. Двуреченский, С.И. Романов, Л.С. Смирнов. ФТП, 7 (11), 2195 (1973)
  3. F.F. Morehead, B.L. Crowder. Rad. Eff., 6 (1,2), 27 (1970)
  4. В.И. Веденеев, Л.В. Гурвич, В.Н. Кондратьев, В.А. Медведев, Е.Л. Франкевич. Энергии разрыва химических связей. Потенциалы ионизации и сродство к элеткрону. (М., АН СССР, 1962)
  5. A.I. Titov, V.S. Belyakov, P. Cardwell, G. Farrel. Rad. Eff. 139, 189 (1996)
  6. E.P. Donovan, F. Spaepen, J.M. Poate, D.C. Jacobson. Appl. Phys. Lett., 55, 1516 (1989)
  7. E.P. Kennedy, L. Csepregi, J.W. Mayer, T.W. Sigmon. J. Appl. Phys., 48 (10), 4241 (1977)
  8. А.И. Герасимов, Д.И. Тетельбаум, А.Ф. Хохлов. В кн: Взаимодействие атомных частиц с твердым телом (Минск, изд-во МРИ, 1978) ч. 2, с. 93
  9. Г.А. Качурин, С.Г. Яновская, Д.И. Тетельбаум, А.Н. Михайлов. ФТП, 37 (6), 738 (2003)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.