Моделирование кинетики роста октаэдрических и пластинчатых кислородных преципитатов в кремнии
Светухин В.В.1, Гришин А.Г.1, Приходько О.В.1
1Ульяновский государственный университет, Ульяновск, Россия
Поступила в редакцию: 28 октября 2002 г.
Выставление онлайн: 19 июня 2003 г.
Предложена модель, позволяющая описать кинетику увеличения характерного размера октаэдрических и пластинчатых кислородных преципитатов в кремнии. Показано, что экспериментальные данные различных авторов по кинетике роста преципитатов хорошо описываются в приближении, что рост лимитирован диффузией, а геометрия преципитатов характеризуется постоянным эксцентриситетом.
- J.J. Vanhellemont. Appl. Phys., 78, 4297 (1995)
- A. Borghesi, B. Pivac, A. Sassella, A. Stella. J. Appl. Phys., 77, 4196 (1995)
- С.В. Булярский, В.В. Светухин, О.В. Приходько. ФТП, 33, 1281 (1999)
- F.S. Ham. Phys. Chem. Sol., 6, 335 (1958)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.