"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Исследование слоев пористого кремния лазерным ультразвуковым методом
Жаркий С.М.1, Карабутов А.А.1, Пеливанов И.М.1, Подымова Н.Б.1, Тимошенко В.Ю.1
1Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова (Физический факультет) и Международный учебно-научный лазерный центр, Москва, Россия
Поступила в редакцию: 25 июня 2002 г.
Выставление онлайн: 19 марта 2003 г.

Экспериментально и теоретически исследовано распространение ультразвуковых сигналов, возбуждаемых наносекундными лазерными импульсами в пористом кремнии. Образцы представляли собой слои толщиной 5--40 мкм и пористостью 50--75%, сформированные на монокристаллической кремниевой подложке посредством ее электрохимического травления. Показано, что используемый лазерный ультразвуковой метод позволяет одновременно определять и толщину, и пористость слоя, при этом максимальные погрешности диагностики составляют порядка 1 мкм для толщины и 5% для пористости.
  • A. Uhlir. Bell. Syst. Techn., 35, 333 (1956)
  • A.G. Cullis, L.T. Canham, P.D.J. Calcott. J. Appl. Phys., 82, 909 (1997)
  • O. Bisi, S. Ossicini, L. Pavesi. Surf. Sci. Rep., 38, 1 (2000)
  • Proc. 2nd Int. Conf."Porous Semiconductors --- Science and Technology" [Phys. St. Sol. (a), 182 (1), 7 (2000)]
  • В.Э. Гусев, А.А. Карабутов. Лазерная оптоакустика (М., Наука, 1991)
  • А.А. Карабутов, М.П. Матросов, Н.Б. Подымова, В.А. Пыж. Акуст. журн., 37 (8), 311 (1991)
  • Р. Труэлл, Ч. Эльбаум, Б. Чик. Ультразвуковые методы в физике твердого тела (М., Наука, 1972)
  • А.А. Карабутов, И.М. Керштейн, И.М. Пеливанов, Н.Б. Подымова. Акуст. журн., 45 (1), 105 (1999)
  • Л.Ф. Лепендин. Акустика (М., Высш. шк., 1978)
  • В.В. Поляков, А.В. Головин. Письма ЖТФ, 20 (1), 54 (1994)
  • Физические величины. Справочник (М., Энергоатомиздат, 1991)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.