"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Исследование слоев пористого кремния лазерным ультразвуковым методом
Жаркий С.М.1, Карабутов А.А.1, Пеливанов И.М.1, Подымова Н.Б.1, Тимошенко В.Ю.1
1Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова, Физический факультет и Международный учебно-научный лазерный центр, Москва, Россия
Поступила в редакцию: 25 июня 2002 г.
Выставление онлайн: 19 марта 2003 г.

Экспериментально и теоретически исследовано распространение ультразвуковых сигналов, возбуждаемых наносекундными лазерными импульсами в пористом кремнии. Образцы представляли собой слои толщиной 5--40 мкм и пористостью 50--75%, сформированные на монокристаллической кремниевой подложке посредством ее электрохимического травления. Показано, что используемый лазерный ультразвуковой метод позволяет одновременно определять и толщину, и пористость слоя, при этом максимальные погрешности диагностики составляют порядка 1 мкм для толщины и 5% для пористости.
  1. A. Uhlir. Bell. Syst. Techn., 35, 333 (1956)
  2. A.G. Cullis, L.T. Canham, P.D.J. Calcott. J. Appl. Phys., 82, 909 (1997)
  3. O. Bisi, S. Ossicini, L. Pavesi. Surf. Sci. Rep., 38, 1 (2000)
  4. Proc. 2nd Int. Conf."Porous Semiconductors --- Science and Technology" [Phys. St. Sol. (a), 182 (1), 7 (2000)]
  5. В.Э. Гусев, А.А. Карабутов. Лазерная оптоакустика (М., Наука, 1991)
  6. А.А. Карабутов, М.П. Матросов, Н.Б. Подымова, В.А. Пыж. Акуст. журн., 37 (8), 311 (1991)
  7. Р. Труэлл, Ч. Эльбаум, Б. Чик. Ультразвуковые методы в физике твердого тела (М., Наука, 1972)
  8. А.А. Карабутов, И.М. Керштейн, И.М. Пеливанов, Н.Б. Подымова. Акуст. журн., 45 (1), 105 (1999)
  9. Л.Ф. Лепендин. Акустика (М., Высш. шк., 1978)
  10. В.В. Поляков, А.В. Головин. Письма ЖТФ, 20 (1), 54 (1994)
  11. Физические величины. Справочник (М., Энергоатомиздат, 1991)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.