"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Рамановская спектроскопия аморфного углерода, модифицированного железом
Ястребов С.Г.1, Иванов-Омский В.И.1, Думитраче Ф.2, Морошану К.3
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Национальный институт лазеров, плазмы и радиационной физики (отдел лазеров), п.я. MG-36, Бухарест, Румыния
3Национальный институт материаловедения, п.я. MG-7, Маргуреле, Бухарест, Румыния
Поступила в редакцию: 25 июля 2002 г.
Выставление онлайн: 19 марта 2003 г.

В пленках аморфного углерода, модифицированного железом, методом рамановского рассеяния исследованы спектры колебательных частот углерода в диапазоне 1000--1800 см-1. Концентрация железа в пленке задавалась технологически с помощью изменения отношения площадей графитовой и железной частей мишени от образца к образцу и контролировалась с помощью обратного резерфордовского рассеяния. Были выращены слои аморфного углерода, содержащие 3, 26, 38 и 54 ат% железа. Спектры рамановского рассеяния представляли собой широкую полосу с особенностями, характерными для аморфного углерода и лежащими вблизи 1332 см-1 (D-полоса) и 1552 см-1 (G-полоса). При концентрациях 38 и 54 ат% железа спектр распадается на ряд полос, что свидетельствует о фрагментации матрицы аморфного углерода с ростом концентрации железа. Показано, что интегральная амплитуда рассеяния нелинейно уменьшается с увеличением содержания железа в образце. Эффект исследован с помощью модели, учитывающей линейную зависимость скорости изменения концентрации атомов, дающих вклад в рассеяние, при изменении атомной доли углерода от общего числа атомов углерода в пленке.
  1. T. Hayashi, S. Hirono, M. Tomita, S. Umemura. Nature, 381, 772 (1996)
  2. J. Jiao, S. Seraphin. J. Appl. Phys., 83 (5), 2442 (1998)
  3. T. Cabioc'h, A. Naudon, M. Jaouen, D. Thiaudiere, D. Babonneau. Phil. Mag. B, 79 (3), 501 (1999)
  4. J.-J. Delaunay, T. Hayashi, M. Tomita, S. Hirono. J. Appl. Phys., 82 (5), 2200 (1997)
  5. Т.К. Звонарева, Е.И. Иванова, Г.С. Фролова, В.М. Лебедев, В.И. Иванов-Омский. ФТП, 36 (6), 734 (2003)
  6. C. Ferrari, J. Robertson. Phys. Rev. B, 61 (20), 14 095 (2000)
  7. F. Tuinstra, J.L. Koenig. J. Chem. Phys., 53 (3), 1126 (1970)
  8. В.И. Иванов-Омский, Т.К. Звонарева, Г.С. Фролова. ФТП, 34 (12), 1450 (2000)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.