Электролитический способ приготовления пористого кремния с использованием внутреннего источника тока
Горячев Д.Н.1, Беляков Л.В.1, Сресели О.М.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 9 октября 2002 г.
Выставление онлайн: 19 марта 2003 г.
Предложен новый способ получения пористого кремния, использующий в качестве источника тока разность потенциалов, которая возникает между погруженными в раствор электролита пластиной кремния и платиновым контрэлектродом. Добавка перекиси водорода в электролит на основе плавиковой кислоты и этанола позволяет управлять плотностью тока процесса и изготавливать фотолюминесцентные слои без применения внешнего источника тока.
- G. Gullis, L.T. Canham, P.D.J. Calcott. J. Appl. Phys., 82, 909 (1997)
- A. Uhlir. Bell Syst. Techn. J., 35, 333 (1956); L.T. Canham. Appl. Phys. Lett., 57, 1046 (1990); V. Lehmann, U. Goesele. Appl. Phys. Lett., 58, 856 (1991)
- R.M. Fathauer, T. George, A. Ksendzov, R.P. Vasquez. Appl. Phys. Lett., 60, 995 (1992); J.L. Coffer. In: Properties of Porous Silicon, ed. by L.T. Canham (London, INSPEC, 1997) ch. 1.3
- В.А. Мямлин, Ю.В. Плесков. Электрохимия полупроводников (М., Наука, 1965) с. 28. [V.A. Myamlin, Yu.V. Pleskov. Electrochemistry of Semiconductors (N.Y., Plenum Press, 1967)]
- D. Brumhead, L.T. Canham, D.M. Seekings, P.J. Tufton. Electrochem. Acta, 38, 191 (1993)
- Д.Н. Горячев. Л.В. Беляков, О.М. Сресели. ФТП, 34, 1130 (2000)
- Л.В. Беляков, Д.Н. Горячев, О.М. Сресели. ФТП, 34, 1386 (2000)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
