"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Влияние обработки ионами Ar низких энергий на характеристики рабочей и тыльной сторон подложки монокристаллического GaAs
Алалыкин А.С.1, Крылов П.Н.1, Федотова И.В.1, Федотов А.Б.2
1Удмуртский государственный университет, Ижевск, Россия
2Нижегородский государственный технический университет, Нижний Новгород, Россия
Поступила в редакцию: 10 июля 2002 г.
Выставление онлайн: 19 марта 2003 г.

Бесконтактными методами исследованы характеристики рабочей и тыльной сторон подложек монокристаллического арсенида галлия, подвергнутого обработке тыльной стороны ионами аргона низких энергий. Обнаружены изменения оптических и фотоэлектрических свойств облучаемых и необлучаемых сторон. Предложен солитонный механизм проникновения дефектов в глубь кристалла.
  1. П.В. Павлов, В.И. Пашков, В.М. Генкин, Г.В. Камаева, В.П. Никишин, Ю.Н. Огарков, Г.И. Успенская. ФТТ, 15 (9), 2857 (1973)
  2. В.А. Пантелеев, В.В. Черняховский, С.Н. Ершов. ФТТ, 16 (7), 2151 (1974)
  3. Т.И. Кольченко, В.М. Ламако, И.Е. Марончук. ФТП, 15 (3), 580 (1981)
  4. А.С. Алалыкин, А.А. Краснов, П.Н. Крылов, А.А. Стерхов, Ю.В. Рац. Тр. IX Межнац, совещ. "Радиационная физика твердого тела" (Севастополь, 1999) с. 132
  5. А.С. Акашкин, В.В. Бесогонов, В.М. Ветошкин, В.Ф. Кобзиев, П.Н. Крылов. Вакуумная техника и технология, 9 (2), 17 (1999)
  6. Б.И. Бедный, А.Н. Калинин, И.А. Карпович. ФТП, 17 (7), 1302 (1983)
  7. Оптические свойства полупроводников (полупроводниковые соединения A-=SUP=-III-=/SUP=-B-=SUP=-V-=/SUP=-), пер. с англ. под ред. Гросса (М., Мир, 1970)
  8. Б.И. Бедный, А.Н. Калинин, И.А. Карпович, А.Н. Савинов. Изв. вузов СССР. Физика, 12, 84 (1984)
  9. Б.И. Бедный, С.Н. Ершов, В.А. Пантелеев. ФТП, 19 (10), 1806 (1985)
  10. Б.Я. Любов. Диффузионные процессы в неоднородных твердых средах (М., Наука, 1981) с. 295
  11. Дж. Маннинг. Кинетика диффузии атомов в кристаллах (М., Мир, 1972)
  12. С.А. Медведев. Введение в технологию полупроводниковых материалов. Учеб. пособие для специальности "Полупроводники и диэлектрики" вузов (М., Высш. шк., 1970)
  13. K. Saarinen, A.P. Seitsonen, P. Hautojarvi, C. Corbel. Phys. Rev. B, 52 (15), 10 932 (2002)
  14. В.П. Кладько, Т.Г. Крыштаб, Ю.С. Клейнфельд, Г.Н. Семенова, Л.С. Хазан. ФТП, 26 (2), 368 (1992)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.