"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Исследование механизмов взаимодействия NO2 и поверхности слоев нанокомпозита por-Si/SnOx
Болотов В.В.1, Кан В.Е.1, Макушенко Р.К.1, Бирюков М.Ю.1, Ивлев К.Е.1, Росликов В.Е.1
1Омский филиал Института физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук, Омск, Россия
Поступила в редакцию: 16 января 2013 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 2013 г.

Методами спектроскопии инфракрасного поглощения и электронного парамагнитного резонанса исследованы механизмы взаимодействия молекул NO2 с поверхностью нанокомпозитов por-Si/SnOx, полученных методами магнетронного напыления и CVD (chemical vapor deposition). Наблюдаемое увеличение концентрации свободных носителей заряда в слоях нанокомпозитов por-Si/SnOx объясняется изменением зарядового состояния Pb-центров за счет образования нейтрального комплекса "поверхностный дефект--адсорбированная молекула NO2" с генерацией свободного носителя заряда в объеме кристаллита. В слоях нанокомпозита, полученного методом CVD, рост концентрации свободных дырок при адсорбции NO2 значительно менее выражен в сравнении с композитом, полученным методом магнетронного напыления, что обусловлено конкурирующим каналом взаимодействия молекул NO2 с электронейтральными Pb-центрами.
  • В.В. Болотов, П.М. Корусенко, С.Н. Несов, С.Н. Поворознюк, В.Е. Росликов, Е.А. Курдюкова, Ю.А. Стенькин, Р.В. Шелягин, Е.В. Князев, В.Е. Кан, И.В. Пономарева. ФТП, 45 (5), 702 (2011)
  • Е.А. Константинова, Л.А. Осминкина, К.С. Шаров, Е.В. Курепина, П.К. Кашкаров, В.Ю. Тимошенко. ЖЭТФ, 126 (4), 857 (2004)
  • A.C. Adams, F.B. Alexander, C.D. Capio, T.E. Smith. J. Electrochem. Soc., 128, 1545 (1981)
  • Л.А. Осминкина, Е.В. Курепина, А.В. Павликов, Ю.В. Тимошенко, П.К. Кашкаров. ФТП, 38 (5), 603 (2004)
  • Л.А. Осминкина, Е.А. Константинова, К.С. Шаров, П.К. Кашкаров, В.Ю. Тимошенко. ФТП, 39 (3), 365 (2005)
  • E.H. Poindexter, P.J. Caplan, B.E. Deal, R.R. Razouk. J. Appl. Phys., 82 (2), 879 (1981)
  • О.В. Александров, А.И. Дусь. ФТП, 45 (4), 474 (2011)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.