"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Оптические постоянные тонких пленок наночастиц кремния, полученных методом лазерного электродиспергирования
Ельцина О.С.1, Андроников Д.А.1, Семерухин М.Ю.1, Явсин Д.А.1, Вайнштейн Ю.С.1, Сресели О.М.1, Гуревич С.А.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 1 апреля 2013 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 2013 г.

Продолжены исследования пленок, состоящих из аморфных плотноупакованных наночастиц кремния, полученных методом лазерного электродиспергирования. Были измерены спектры оптического пропускания и отражения пленок, изготовленных в вакууме и при различных давлениях кислорода, введенного в камеру для пассивации поверхности наночастиц. Рассчитаны спектры показателя преломления и коэффициента экстинкции пленок. По виду спектры оптических постоянных коррелируют со спектрами объемного аморфного кремния, но полученные величины отличаются от параметров объемного аморфного кремния. Различия связаны со значительным объемом пустот между наночастицами и с большим количеством оборванных связей (дефектов) на поверхности наночастиц. С увеличением содержания кислорода в пленках значения оптических постоянных уменьшаются, что отражает процесс пассивации оборванных связей кислородом.
  • A. Marti, N. Lopez, E. Antoli n, E. Canovas, C. Stanley, C. Farmer, L. Cuadra, A. Luque. Thin Sol. Films, 638, 511 (2006)
  • O.M. Sreseli, O.S. El'tsina, L.V. Belyakov, D.N. Goryachev. Appl. Phys. Lett., 95, 031 914 (2009)
  • V.M. Kozhevin, D.A. Yavsin, V.M. Kouznetsov, V.M. Busov, V.M. Mikushkin, S.Yu. Nikonov, S.A. Gurevich, A. Kolobov. J. Vac. Sci. Technol. B, 18, 1402 (2000)
  • С.А. Гуревич, Д.А. Андроников, В.Ю. Давыдов, В.М. Кожевин, И.В. Макаренко, А.Н. Титков, Д.А. Явсин, Т.Л. Кулова, А.М. Скундин. Тр. XIV Междунар. симп. "Нанофизика и наноэлектроника" (Н. Новогород, Россия, 2009) с. 333
  • O.S. Yeltsina, D.A. Andronikov, A.V. Kukin, J.S. Vainshtein, O.M. Sreseli. Phys. Status Solidi C, 9 (6), 1471 (2012)
  • G. Allan, C. Delerue, M. Lannoo. Phys. Rev. Lett., 78, 3161 (1997)
  • Ю.В. Уханов. Оптические свойства полупроводников (М., Наука, 1977) гл. 2, c. 58
  • E.D. Palik. Handbook of Optical Constants of Solids (N.Y., Academic Press, 1985)
  • http://refractiveindex.info
  • D.T. Pierce, W.E. Spicer. Phys. Rev. B, 5 (8), 3017 (1972)
  • H.R. Philipp. J. Phys. Chem. Sol., 32, 1935 (1971)
  • S.H. Wemple. Phys. Rev. B, 7, 3767 (1973)
  • D.A.G. Bruggeman. Ann. der Physik, 24, 636 (1935)
  • S. Adachi, H. Mori. Phys. Rev. B, 62, 10 158 (2000)
  • А.В. Ершов, А.И. Машин, А.Ф. Хохлов, Д.Е. Касьянов, А.В. Нежданов, Н.И. Машин, И.А. Карабанова. Тр. 1-го совещ. по проекту НАТО "SfP-973799 Semiconductors" (Н. Новгород, Россия, 2001) с. 124
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.