"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Исследование влияния особенностей конструкции установки магнетронного распыления на электрические и оптические свойства пленок оксида индия-олова
Министерство науки и высшего образования РФ , 0791-2020-0004
Кудряшов Д.А.1, Максимова А.А.1,2, Вячеславова Е.А.1, Уваров А.В.1, Морозов И.А.1, Баранов А.И.1, Монастыренко А.О.1, Гудовских А.С.1,2
1Санкт-Петербургский национальный исследовательский Академический университет имени Ж.И. Алфёрова Российской академии наук, Санкт-Петербург, Россия
2Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина), Санкт-Петербург, Россия
Email: kudryashovda@spbau.ru
Поступила в редакцию: 25 ноября 2020 г.
В окончательной редакции: 7 декабря 2020 г.
Принята к печати: 7 декабря 2020 г.
Выставление онлайн: 10 января 2021 г.

Показано влияние относительного расположения магнетрона и подложки на электрические и оптические свойства формирующегося слоя оксида индия-олова (ITO). Рассмотрены причины данного поведения и показана роль кислорода в возникновении неоднородности свойств пленок ITO. Показано, что в режиме роста без дополнительного добавления кислорода удельное сопротивление пленок ITO различается на порядок ((2-14)·10-2 Ом · см) при различном расположении подложки на подложкодержателе вдоль радиуса в диапазоне 0-14 см. На спектрах поглощения при этом наблюдаются различия в форме коротковолновой области спектра. Добавление незначительного (0.1 ст. см3/мин) количества кислорода в рабочую камеру в процессе роста оксида приводит к значительному повышению однородности электрических и оптических свойств ITO. Ключевые слова: магнетронное распыление, оксид индия-олова, тонкие пленки.
  1. H. Kim, C.M. Gilmore, A. Pique, J.S. Horwitz, H. Mattoussi, H. Murata, Z.H. Kafafi, D.B. Chrisey. J. Appl. Phys., 86 (11), 6451 (1999)
  2. V.S. Kaluba, K. Mohamad, P. Ferrer. Appl. Energy, 257, 114020 (2020)
  3. S. Swann. Phys Technol., 19 (2), 67 (1988)
  4. J.H. Shin, S.H. Shin J.I. Park, H.H. Kim. J. Appl. Phys., 89 (9), 5199 (2001)
  5. M.M. Aliyu, S. Hossain, J. Husna, N. Dhar, M.Q. Huda, K. Sopian, N. Amin. Proc. 38th IEEE Photovoltaic Specialists Conf. (Austin, TX, USA, 2012) p. 002009
  6. W. Deng, T. Ohgi, H. Nejo, D. Fujita. Jpn. J. Appl. Phys., 40, 3364 (2001)
  7. D. Kudryashov, A. Gudovskikh, K. Zelentsov. J. Phys.: Conf. Ser., 461, 012021 (2013)
  8. S. Peng, X. Cao, J. Pan, X. Wang, X. Tan, A.E. Delahoy, K.K. Chin. J. Electron. Mater., 46 (2), 1405 (2017)
  9. Handbook of Thin Films, ed by H. Singh Nalwa. V. 5 (Toronto--London--N.Y., Academic Press, 2001) p. 3451
  10. W.-F. Wu, B.-Sh. Chiou. Semicond. Sci. Technol., 11, 196 (1996)
  11. K. Samadzamini, J. Frounchi, H. Veladi. J. Korean Phys. Soc., 59 (5), 3280, (2011)
  12. S. Ishibashi, Y. Higuchi, Y. Ota, K. Nakamura. J. Vac. Sci. Tech. A, 8, 1403 (1990)
  13. F. Kurdesau, G.S. Khrypunov, A.F. da Cunha, M. Kaelin. J. Non-Cryst. Sol., 352, 1466 (2006)
  14. G.B. Gonzalez, T.O. Mason, J.P. Quintana. J. Appl. Phys., 96, 3912 (2004)
  15. J.-H. Hwang, D.D. Edwards, D.R. Kammler, T.O. Mason. Solid State Ionics, 129 (1-4), 135 (2000)
  16. H.-N. Cui, V. Teixeira, L.-J. Meng, R. Martins, E. Fortunato. Vacuum, 82, 1507 (2008)
  17. Handbook of Visual Display Technology, ed. by J. Chen, W. Cranton, M. Fihn (Springer Verlag, Berlin--Heidelberg, 2012) p. 2700

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.