"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Электроосаждение металлов на p-Si из водных электролитов
Переводная версия: 10.1134/S1063782621030064
Горяева В.Н.1, Бисенгалиев Р.А.1
1Калмыцкий государственный университет им. Б.Б. Городовикова, Элиста, Россия
Email: poltinnikd@mail.ru
Поступила в редакцию: 2 марта 2020 г.
В окончательной редакции: 21 октября 2020 г.
Принята к печати: 9 ноября 2020 г.
Выставление онлайн: 12 декабря 2020 г.

Представлены особенности электрохимического осаждения металлических покрытий на p-Si и измерены свойства полученных металлических слоев. Исследована зависимость толщины обедненной области и внутреннего падения напряжения в ней от состава электролита и типа осаждаемого металла. Доказано влияние на свойства осадков, плотность тока и состав электролитов. Подбором предварительной обработки электролита и режима осаждения получены осадки металлов с приемлемой адгезией и малым продольным сопротивлением. Ключевые слова: электрохимическое осаждение, p-Si, металлический слой, осаждение металлов.
  1. Р.М. Вишомирскис. Кинетика электроосаждения металлов из комплексных электролитов (М., Наука, 1969)
  2. В.М. Замурников, Н.А. Костин. Гальванотехника и обработка поверхности, 3, 34 (1994)
  3. А.Д. Зимон. Адгезия пленок и покрытий (М., Химия, 1977)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.