"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Исследование радиационных эффектов в МОП-транзиcторе с p-каналом
Переводная версия: 10.1134/S1063782620080138
Кузьминова А.В. 1, Куликов Н.А1, Попов В.Д. 1
1Национальный исследовательский ядерный университет "МИФИ", Москва, Россия
Email: avkuzminova@mephi.ru, nikita93-07@bk.ru, wdpopov@mail.ru
Поступила в редакцию: 18 марта 2020 г.
В окончательной редакции: 31 марта 2020 г.
Принята к печати: 31 марта 2020 г.
Выставление онлайн: 11 мая 2020 г.

Рассматривается воздействие γ-излучения на образование поверхностных дефектов на границе раздела Si-SiO2 в МОП-транзисторе с p-каналом в пассивном режиме. Наблюдалось несколько процессов поверхностного дефектообразования. Показана роль молекулярного водорода в подзатворном оксиде МОП-транзистора и "горячих" электронов, образующихся в приповерхностной области кремния. Ключевые слова: МОП-транзистор, p-канал, γ-излучение, молекулярный водород, "горячие" электроны.
  1. Л.В. Курносова. УФН, 52 (4), 603 (1954)
  2. T.R. Oldham, F.B. Mc Lean. IEEE Trans. Nucl. Sci., 50 (3), 483 (2003)
  3. N.A. Kulikov, V.D. Popov. Semiconductor, 53 (1), 110 (2019)
  4. K.A. Petukhov, V.D. Popov. Sensors Systems., 2 (222), 53 (2018) (In Russian)
  5. S.T. Pandelides, S.N. Rashkeev, R. Buczko, D.M. Fleetwood, R.D. Schrimpf. IEEE Trans. Nucl. Sci., 47, 2262 (2000)
  6. M.A. Bulusheva, V.D. Popov, G.A. Protopopov, A.V. Skorodumova. Semiconductors, 44 (4), 508 (2010)
  7. S.N. Rashkeev, C.R. Cirba, D.M. Fleetwood, R.D. Schrimpf, S.C. Witczak, A. Michez, S.T. Pandelides. IEEE Trans. Nucl. Sci., 49 (6), 2650 (2002)
  8. S.N. Rashkeev, D.M. Fleetwood, R.D. Schrimpf, S.T. Pandelides. IEEE Trans. Nucl. Sci., 51 (6), 3158 (2004)
  9. J.R. Schwank, P.S. Winokur, P.J. Mc Whorter, F.W. Sexton, P.V. Dressendorfer, D.C. Turpin. IEEE Trans. Nucl. Sci., 31 (6), 1434 (1984)
  10. A.J. Lelis, T.R. Oldham, H.E. Boesh, F.B. Mc Lean. IEEE Trans. Nucl. Sci,. 31 (6), 1808 (1989)
  11. N.S. Saks, R.B. Klein, D.L. Griscom. IEEE Trans. Nucl. Sci., 35 (6), 1234 (1988)
  12. J. Mc Whorter, P.S. Winokur. Appl. Phys. Lett., 48 (2), 133 (1986)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.