Вышедшие номера
Полевой транзистор на основе наностержней ZnO с изменяемым пороговым напряжением отсечки
Грузинцев А.Н.1, Редькин А.Н.1, Opoku C.2, Шкунов М.Н.1
1Институт проблем технологии микроэлектроники Российской академии наук, Черноголовка, Россия
2Advanced Technology Institute, University of Surrey, Guildford, GU2 7XH, UK
Поступила в редакцию: 30 мая 2012 г.
Выставление онлайн: 20 марта 2013 г.

Посвящена изготовлению и электрическим параметрам полевых транзисторов (FETs) с коротким каналом (2 мкм) на основе наностержней ZnO. Для изготовления полевых транзисторов использовались наностержни ZnO, полученные методом CVD-синтеза без катализатора. Хотя полевые транзисторы из коротких монокристаллических наностержней ZnO имеют хорошие электрические параметры: крутизну 100 нС, подвижность носителей 6 см2/(B·с) и большой коэффициент запирания 104, их характеристики зависят от длины наностержней. Исследовано влияние величины напряжения сток-исток на значение порогового напряжения отсечки на затворе.
  1. M.H. Huang, F. Henning, Y. Haoquan, Y. Wu, H. Kind, E. Weber, R. Russo, P. Yang. Science, 292, 1897 (2001)
  2. P. Yang, H. Yan, S. Mao, R. Russo, J. Johnson, R. Saykally, N. Morris. Adv. Funct. Mater., 12, 323 (2002)
  3. G.C. Yi, C. Wang, W.I. Park. Semicond. Sci. Technol., 25, S22 (2005)
  4. H.Bae, S. Im. J. Vac. Sci. Technol. B, 22, 1191 (2004)
  5. D.C. Look, D.C. Reynolds, J.R. Sizelove, R.L. Jones, C.W. Litton, G. Cantwell, W.C. Harsch. Sol. St. Commun., 105, 399 (1998)
  6. А.Н. Грузинцев, В.Т. Волков. ФТП, 45, 1476 (2011)
  7. Z. Fan, D. Wang, P.-C. Chang, W.-Y. Tseng, J.G. Lu. Appl. Phys. Lett., 85, 5923 (2004)
  8. O. Lupana, V.V. Ursakic, G. Chaia, L. Chowa, G.A. Emelchenko, I.M. Tiginyanu, A.N. Gruzintsev, A.N. Redkin. Sensors Actuators B, 144, 56 (2010)
  9. J. Goldberger, D.J. Sirbuli, M. Low, P. Yang. J. Phys. Chem. B, 109, 9 (2005)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.