Электронные уровни и люминесценция дислокационных сеток, полученных гидрофильным сращиванием пластин кремния
Бондаренко А.С.1, Вывенко О.Ф.1, Исаков И.А.1
1Научно-исследовательский институт физики им. В.А. Фока Санкт-Петербургского государственного университета, Санкт-Петербург, Петергоф, Россия
Поступила в редакцию: 17 июля 2012 г.
Выставление онлайн: 20 января 2013 г.
Локальные энергетические уровни, обусловленные дислокациями на интерфейсе сращённых пластин кремния n- и p-типа проводимости, исследованы методами DLTS, а также новым методом детектирования примесной люминесценции, стимулированной заполнением электронных состояний (Pulsed-TREL) электрическими импульсами. Установлено, что за полосу D1 дислокационной люминесценции как в n-, так и в p-образцах ответственны только мелкие уровни дислокационной сетки с энергиями активации около ~ 0.1 эВ. Заполнение глубоких уровней не оказывает влияния на интенсивность полосы D1. Предложена модель парных нейтральных центров захвата носителей, объясняющая разницу между энергетическим положением полосы D1 (0.8 эВ) и межуровневым энергетическим расстоянием (0.97 эВ) кулоновским взаимодействем между захваченными на них носителями.
- M. Kittler, X. Yu, T. Mchedlidze, T. Arguirov, O.F. Vyvenko, W. Seifert, M. Reiche, T. Wilhelm, M. Seibt, O. Vob, A. Wolff, W. Fritzsche. Small, 3, 964 (2007)
- N.A. Drozdov, A.A. Patrin, V.D. Tkachev. JETP Lett., 23, 597 (1976)
- A. Bondarenko, O. Vyvenko, I. Kolevatov, I. Isakov, O. Kononchuk. Sol. St. Phenomena, 178--179, 233 (2011)
- O. Kononchuk, F. Boedt, F. Allibert. Sol. St. Phenomena, 131--133, 113 (2008)
- I. Isakov, A. Bondarenko, O. Vyvenko, V. Vdovin, E. Ubyivovk, O. Kononchuk. J. Phys.: Conf. Ser., 281, 012010 (2011)
- I. Kolevatov, M. Trushin, O. Vyvenko, M. Kittler, O. Kononchuk. In: Proc. Intern. Conf. Extended Defects in Semicond., EDS-2012 (Thessaloniki, Greece, 2012)
- E.A. Steinman. Phys. Status Solidi C, 2, 1837 (2005)
- M. Trushin, O. Vyvenko, V. Vdovin, M. Kittler. J. Phys.: Conf. Ser., 281, 012009 (2011)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.