"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Закономерности образования дислокационных сеток на границе сращённых пластин Si(001)
Вдовин В.И.1, Убыйвовк Е.В.1, Вывенко О.Ф.1
1Санкт-Петербургский государственный университет, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 17 июля 2012 г.
Выставление онлайн: 20 января 2013 г.

Методом просвечивающей электронной микроскопии выполнено исследование дислокационных сеток в структурах с гидрофильным соединением пластин Si(001). Наблюдались сетки с различной геометрией и типом доминирующих дислокаций. Один тип сеток, типичный для сращённых структур, формируется на основе квадратной сетки винтовых дислокаций и содержит систему однонаправленных 60-градусных дислокаций зигзагообразной формы. Установлено, что такие дислокационные сетки являются плоскими в структурах с азимутальной разориентацией пластин более 2o, а при меньших углах разориентации - трехмерными. Уникальная сетка другого типа образована только 60-градусными дислокациями, преобладающая доля которых вытянута вдоль одного направления, не совпадающего с направлениями <110> в плоскости соединения, и имеет ряд специфических особенностей, объяснение которых невозможно в рамках общепринятых представлений.
  1. M. Reiche. Mater. Sci. Forum, 590, 57 (2008)
  2. T. Sekiguchi, S. Ito, A. Kanai. Mater. Sci. Eng. B, 91--92, 244 (2002)
  3. A. Bondarenko, O. Vyvenko, I. Isakov. J. Phys. Conf. Ser., 281, 012 008 (2011)
  4. H. Foll, D. Ast. Phil. Mag. A, 40, 589 (1979)
  5. T. Akatsu, R. Scholz, U. Gosele. J. Mater. Sci., 39, 3031 (2004)
  6. K. Rousseau, J. Eymery, F. Fournel, J.-P. Morniroli, J.-L. Rouvi`ere. Phil. Mag., 85, 2415 (2005)
  7. M. Benamara, A. Rocher, A. Laporte, G. Sarrabayrouse, L. Lescouz\`eres, A. PeyreLavigne, M. Fnaiech, A. Claverie. Mater. Res. Soc. Symp. Proc., 378, 863 (1995)
  8. J. Coelho, G. Patriarche, F. Glas, I. Sagnes, G. Saint-Girons. Phys. Status Solidi C, 2, 1933 (2005)
  9. V. Vdovin, O. Vyvenko, E. Ubyivovk, O. Kononchuk. Sol. St. Phenomena, 178--179, 253 (2011)
  10. V.I. Vdovin, L.A. Matveeva, G.N. Semenova, M.Ya. Skorohod, Yu.A. Tkhorik, L.S. Khazan. Phys. Status. Solidi A, 92, 379 (1985)
  11. U. Gosele, Y. Bluhm, G. Kastner, P. Kopperschmidt, G. Krauter, R. Scholz, A. Schumacher, St. Senz, Q.-Y. Tong. J. Vac. Sci. Technol. A, 17, 1145 (1999)
  12. T. Wilhelm, T. Mchedlidze, X. Yu, T. Arguirov, M. Kittler, M. Reiche. Sol. St. Phenomena, 131--133, 571 (2008)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.