Физика и техника полупроводников

Авторам

Правила оформления публикаций

Вышедшие номера

2024
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10
2023
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9
2022
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2021
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2020
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2019
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2018
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13
2017
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2016
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2015
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2014
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2013
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2012
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2011
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2010
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2009
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2008
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2007
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2006
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2005
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2004
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2003
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2002
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2001
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2000
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1999
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1998
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1997
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1996
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1995
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1994
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1993
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1992
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1991
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1990
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1989
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1988
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12

Осаждение аморфных и микрокристаллических пленок кремния газоструйным плазмохимическим методом

DOI: 10.21883/FTP.2019.12.48634.9068

Переводная версия: 10.1134/S1063782619160255

РФФИ и Министерство образования, науки и инновационной политики Новосибирской области, Конкурс проектов 2017 года фундаментальных научных исследований, проводимый РФФИ и субъектами Российской Федерации, 17-48-540665 р_а

Министерство образования и науки Российской Федерации, Проект III.18.2.5: Фундаментальные теплофизические основы получения совершенных монокристаллов и плёнок, Гос. рег. АААА-А17-117022850021-3, ГЗ 0322-2018-0005

Щукин В.Г. ¹, Константинов В.О.¹, Шарафутдинов Р.Г.¹

¹Институт теплофизики им. С.С. Кутателадзе СО РАН, Новосибирск, Россия Kutateladze Institute of Thermophysics, Siberian Branch, Russian Academy of Sciences, Novosibirsk, Russia

Kutateladze Institute of Thermophysics, Siberian Branch, Russian Academy of Sciences, Novosibirsk, Russia

Email: shchukin@itp.nsc.ru, konstantinov@itp.nsc.ru, molkin@itp.nsc.ru

Поступила в редакцию: 21 января 2019 г.

Выставление онлайн: 19 ноября 2019 г.

PDF версия

Абстракт
Литература
Статистика просмотров

Газоструйным плазмохимическим методом с активацией газа электронным пучком получены равномерные тонкие пленки аморфного и микрокристаллического кремния в форвакуумном диапазоне давлений. Исследовано влияние расхода газа-носителя аргона, концентрации моносилана, давления в реакционной камере, материала подложки и величины тока активирующего электронного пучка на скорость осаждения, фоточувствительность и кристалличность слоев кремния. Для пленок аморфного кремния достигнуты скорости осаждения > 1 нм/с, а для слоев с кристалличностью, превышающей 60%, скорость осаждения превысила 0.6 нм/с. Установлено, что материал подложки не влияет на структуру осаждаемых слоев кремния и скорость их осаждения. Ключевые слова: плазмохимическое осаждение, газовые струи, тонкие пленки, аморфный и микрокристаллический кремний.

A. Terakawa. Sol. Energy Mater. Sol. Cells, 119, 204 (2013)
M. Tanda, K. Tabuchi, M. Uno, S. Kato, Y. Takeda, S. Iwasaki, Y. Yokohama, T. Wada, M. Shimosawa, Y. Sakakibara, A. Takano, H. Nishihara, H. Enomoto, T. Kamoshita. Proc. 31st IEEE PVSC (Lake Buona Vista, USA, 2005) p. 1560
F.-J. Haug, T. Soderstrom, M. Python, V. Terrazzoni-Daudrix, X. Niquille, C. Ballif. Sol. Energy Mater. Sol. Cells, 93, 884 (2009)
P. Alpuim, G.M. Junior, S.A. Filonovich, P. Roca i Cabarrocas, J.-E. Bouree, E.V. Johnson, Y.M. Soro. Proc. 23rd EU PVSEC (Valencia, Spain, 2008) p. 2455
A.V. Shah, J. Meier, E. Vallat-Sauvain, N. Wyrsch, U. Kroll, C. Droz, U. Graf. Sol. Energy Mater. Sol. Cells, 78, 469 (2003)
D.L. Staebler, C.R. Wronski. Appl. Phys. Lett., 31, 292 (1977)
J. Meier, S. Dubail, R. Fluckiger, D. Fischer, H. Keppner, A. Shah. Proc. 1st IEEE World Conf. on Photovoltaic Energy Conversion (Waikoloa, USA, 1994) p. 409
T. Kamei, P. Stradins, A. Matsuda. Appl. Phys. Lett., 74 (12), 1707 (1999)
S. Guha, J. Yang, B. Yan. Sol. Energy Mater. Sol. Cells, 119, 1 (2013)
S. Guha. Phys. Status Solidi A, 207, 671 (2010)
S. Mukhopadhyay, R. Goswami, S. Ray. Sol. Energy Mater. Sol. Cells, 93, 674 (2009)
R.G. Sharafutdinov, S.Ya. Khmel, V.G. Shchukin, M.V. Ponomarev, E.A. Baranov, A.V. Volkov, O.I. Semenova, L.I. Fedina, P.P. Dobrovolsky, B.A. Kolesov. Sol. Energy Mater. Solar Cells, 89, 99 (2005)
В.Г. Щукин, В.О. Константинов, В.С. Морозов. ЖТФ, 6, 914 (2018)
Р.Г. Шарафутдинов, П.А. Сковородко, С.А. Городецкий, В.М. Карстен, В.О. Константинов, В.Г. Щукин. Пат. 2612267 РФ, МПК B01J19/08, С23С14/00, С23С16/513, С23С16/54, С23С26/00, H01J37/32. Опубл. 03.03.2017. Бюл. N 7
D. Das, M. Jana, A.K. Barua, S. Chattopadhyay, L.C. Chen, K.H. Chen. Jpn. J. Appl. Phys., 41, 229 (2002)
B. Rech, T. Roschek, J. Muller, S. Wieder, H. Wagner. Sol. Energy Mater. Sol. Cells, 66, 267 (2001)
P. Roca i Cabarrocas. Curr. Opin. Solid State Mater. Sci., 6, 439 (2002)
Y. Mai, S. Klein, R. Carius, J. Wolff, A. Lambertz, F. Finger. J. Appl. Phys., 97, 114913 (2005)
T. Matsui, M. Kondo. Sol. Energy Mater. Sol. Cells, 119, 156 (2013)
В.О. Константинов, В.Г. Щукин, Р.Г. Шарафутдинов, В.М. Карстен, Г.Г. Гартвич, О.И. Семенова. Прикл. физика, N 4, 95 (2009)
А.Е. Беликов, Н.В. Карелов, А.К. Ребров, Р.Г. Шарафутдинов. В сб.: Диагностика потоков разреженного газа, под ред. С.С. Кутателадзе, А.К. Реброва (Новосибирск, 1979) с. 7
Г. Месси. Электронные и ионные столкновения (М., Изд-во Иностр. лит., 1958)
J.K. Rath. Sol. Energy Mater. Sol. Cells, 76, 431 (2003)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель