"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Проверка гипотезы о термоупругом характере деформации слоя (0001)GaN, выращенного на a-срезе сапфира
Переводная версия: 10.1134/S1063782618110088
Дроздов Ю.Н.1, Хрыкин О.И.1, Юнин П.А.1,2
1Институт физики микроструктур Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия
2Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского, Нижний Новгород, Россия
Email: drozdyu@ipmras.ru
Поступила в редакцию: 25 апреля 2018 г.
Выставление онлайн: 20 октября 2018 г.

Методом рентгеновской дифрактометрии исследована деформация эпитаксиального слоя (0001)GaN на a-срезе (1120) сапфира. По литературным данным о коэффициентах температурного расширения нитрида галлия и сапфира вычислена анизотропная деформация слоя. Сравнение вычисленной и экспериментальной деформации подтверждает гипотезу о термоупругом характере деформации GaN на a-срезе сапфира. Этот результат позволяет, в частности, проводить теоретические оценки упругой деформации и пьезополя в псевдоморфных гетероструктурах, использующих слои GaN на a-срезе сапфира в качестве виртуальной подложки или буферного слоя.
  1. A.E. Romanov, T.J. Baker, S. Nakamura, J.S. Speck. J. Appl. Phys., 100, 023522 (2006)
  2. K. Ueno, E. Kishikawa, S. Inoue, J. Ohta, H. Fujioka, M. Oshima, H. Fukuyama. Phys. Status Solidi RRL, 8 (3), 256 (2014)
  3. H. Kim-Chauveau, P. De Mierry, H. Cabane, D. Gindhart. J. Appl. Phys., 104, 113516 (2008)
  4. V. Darakchieva, P.P. Paskov, T. Paskova, E. Valcheva, B. Monemar, M. Heuken. Appl. Phys. Lett., 82, 703 (2003)
  5. J. Bai, T. Wang, H.D. Li, N. Jiang, S. Sakai. J. Cryst. Growth, 231, 41 (2001)
  6. П.А. Юнин, Ю.Н. Дроздов, О.И. Хрыкин. Тр. XXI Междунар. симп. Нанофизика и наноэлектроника" (13-16 марта 2017 г. Нижний Новгород) т. 2, с. 780
  7. C. Roder, S. Einfeldt, S. Figge, T. Paskova, D. Hommel, P.P. Paskov, B. Monemar, U. Behn, B.A. Haskell, P.T. Fini, S. Nakamura. J. Appl. Phys., 100, 103511 (2006)
  8. C. Roder, S. Einfeldt, S. Figge, D. Hommel. Phys. Rev. B, 72, 085218 (2005)
  9. Ю.Н. Дроздов, П.А. Юнин. Поверхность. РСНИ, 1, 68 (2016)
  10. Дж. Най. Физические свойства кристаллов (М., Мир, 1967) [Пер. с англ.: J.F. Nye. Physical properties of crystals (Oxford University Press, London, 1969)]

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.