Проверка гипотезы о термоупругом характере деформации слоя (0001)GaN, выращенного на a-срезе сапфира
Дроздов Ю.Н.1, Хрыкин О.И.1, Юнин П.А.1,2
1Институт физики микроструктур Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия
2Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского, Нижний Новгород, Россия
Email: drozdyu@ipmras.ru
Поступила в редакцию: 25 апреля 2018 г.
Выставление онлайн: 20 октября 2018 г.
Методом рентгеновской дифрактометрии исследована деформация эпитаксиального слоя (0001)GaN на a-срезе (1120) сапфира. По литературным данным о коэффициентах температурного расширения нитрида галлия и сапфира вычислена анизотропная деформация слоя. Сравнение вычисленной и экспериментальной деформации подтверждает гипотезу о термоупругом характере деформации GaN на a-срезе сапфира. Этот результат позволяет, в частности, проводить теоретические оценки упругой деформации и пьезополя в псевдоморфных гетероструктурах, использующих слои GaN на a-срезе сапфира в качестве виртуальной подложки или буферного слоя.
- A.E. Romanov, T.J. Baker, S. Nakamura, J.S. Speck. J. Appl. Phys., 100, 023522 (2006)
- K. Ueno, E. Kishikawa, S. Inoue, J. Ohta, H. Fujioka, M. Oshima, H. Fukuyama. Phys. Status Solidi RRL, 8 (3), 256 (2014)
- H. Kim-Chauveau, P. De Mierry, H. Cabane, D. Gindhart. J. Appl. Phys., 104, 113516 (2008)
- V. Darakchieva, P.P. Paskov, T. Paskova, E. Valcheva, B. Monemar, M. Heuken. Appl. Phys. Lett., 82, 703 (2003)
- J. Bai, T. Wang, H.D. Li, N. Jiang, S. Sakai. J. Cryst. Growth, 231, 41 (2001)
- П.А. Юнин, Ю.Н. Дроздов, О.И. Хрыкин. Тр. XXI Междунар. симп. Нанофизика и наноэлектроника" (13-16 марта 2017 г. Нижний Новгород) т. 2, с. 780
- C. Roder, S. Einfeldt, S. Figge, T. Paskova, D. Hommel, P.P. Paskov, B. Monemar, U. Behn, B.A. Haskell, P.T. Fini, S. Nakamura. J. Appl. Phys., 100, 103511 (2006)
- C. Roder, S. Einfeldt, S. Figge, D. Hommel. Phys. Rev. B, 72, 085218 (2005)
- Ю.Н. Дроздов, П.А. Юнин. Поверхность. РСНИ, 1, 68 (2016)
- Дж. Най. Физические свойства кристаллов (М., Мир, 1967) [Пер. с англ.: J.F. Nye. Physical properties of crystals (Oxford University Press, London, 1969)]
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.