"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Исследование структурных и морфологических свойств HPHT алмазных подложек
Переводная версия: 10.1134/S1063782618110271
Российский научный фонд, 17-19-01580
Юнин П.А.1, Волков П.В.1, Дроздов Ю.Н.1, Колядин А.В.2, Королев С.А.1, Радищев Д.Б.3, Суровегина Е.А.1, Шашкин В.И.1
1Институт физики микроструктур Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия
2ООО "Нью Даймонд Технолоджи", Санкт-Петербург, Россия
3Федеральный исследовательский центр Институт прикладной физики Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия
Email: yunin@ipmras.ru
Поступила в редакцию: 25 апреля 2018 г.
Выставление онлайн: 20 октября 2018 г.

Методами оптической интерференционной микроскопии белого света, атомно-силовой микроскопии и рентгеновской дифрактометрии проведены комплексные исследования морфологических и структурных свойств серии монокристаллических HPHT алмазных подложек. Описаны методики, позволяющие охарактеризовать наиболее критичные для эпитаксиального применения параметры подложек на лабораторном оборудовании. Показано, что характеризации алмазных подложек только по ювелирному типу недостаточно при оценке возможности их использования для эпитаксиального роста CVD-алмаза.
  1. A. Tallaire, V. Mille, O. Brinza, T.N. Tran Thi, J.M. Brom, Y. Loguinov, A. Katrusha, A. Koliadin, J. Achard. Diamond Relat. Mater., 77 146 (2017)
  2. R.C. Burns, A.I. Chumakov, S.H. Connell, D. Dube, H.P. Godfried, J.O. Hansen, J. Hartwig, J. Hoszowska, F. Masiello, L. Mkhonza, M. Rebak, A. Rommevaux, R. Setshedi, P. Van Vaerenbergh. J. Phys.: Condens. Matter, 21 364224 364224
  3. J. Hoszowska, A.K. Freund, E. Boller, J.P.F. Sellschop, G. Level, J. Hartwig, R.C. Burns, M. Rebak, J. Baruchel. J. Phys. D: Appl. Phys., 34, A47 (2001)
  4. Y. Kato, H. Umezawa, H. Yamaguchi, S.-i. Shikata. Diamond Relat. Mater., 29, 37 (2012)
  5. K. Tamasaku, T. Ueda, D. Miwa, T. Ishikawa. J. Phys. D: Appl. Phys., 38, A61 (2005)
  6. A.B. Muchnikov, A.L. Vikharev, J.E. Butler, V.V. Chernov, V.A. Isaev, S.A. Bogdanov, A.I. Okhapkin, P.A. Yunin, Y.N. Drozdov. Phys. Status Solidi A: Appl. Mater. Sci., 212, 2572 (2015)
  7. A.B. Muchnikov, D.B. Radishev, A.L. Vikharev, A.M. Gorbachev, A.V. Mitenkin, M.N. Drozdov, Y.N. Drozdov, P.A. Yunin. J. Cryst. Growth, 442, 62 (2016)
  8. E.V. Bushuev, V.Yu. Yurov, A.P. Bolshakov, V.G. Ralchenko, E.E. Ashkinazi, A.V. Ryabova, I.A. Antonova, P.V. Volkov, A.V. Goryunov, A.Yu. Luk'yanov. Diamond Relat. Mater., 66, 83 (2016)
  9. Ю.Н. Дроздов, П.А. Юнин. Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования, N 1, 68 (2016)
  10. П.А. Юнин, Ю.Н. Дроздов, В.В. Чернов В.А. Исаев, С.А. Богданов, А.Б. Мучников. ФТП, 50 (12), 1647 (2016)
  11. X. Xie, X. Wang, Y. Peng, Y. Cui, X. Chen, X. Hu, X. Xu, P. Yu, R. Wang. J. Mater. Sci. Mater. Electron., 28, 9813 (2017)
  12. O.A. Ivanov, A.B. Muchnikov, V.V. Chernov, S.A. Bogdanov, A.L. Vikharev, J.E. Butler. Mater. Lett., 151, 115 (2015)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.