"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Исследование модифицированной структуры квантового каскадного лазера
Переводная версия: 10.1134/S106378261801013X
Мамутин В.В.1, Малеев Н.А.1, Васильев А.П.1, Ильинская Н.Д.1, Задиранов Ю.М.1, Усикова А.А.1, Яговкина М.А.1, Шерняков Ю.М.1, Устинов В.М.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: mamutin@mail.ru
Поступила в редакцию: 27 апреля 2017 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 2017 г.

Исследован процесс получения модифицированной структуры для квантовых каскадных лазеров, включающий в себя выращивание с помощью молекулярно-пучковой эпитаксии, плазменное травление, фотолитографию с применением жидкостного травления и создание специальных контактов для уменьшения потерь в волноводе. Использование специального типа структуры позволяет и без постростового заращивания высокоомным материалом достичь параметров, удовлетворяющих требованиям к гетероструктурам высококачественных квантовых каскадных лазеров при максимальном упрощении всего процесса изготовления. DOI: 10.21883/FTP.2018.01.45332.8630
  1. В.В. Мамутин, В.М. Устинов, J. Boetthcher, H. Kuenzel. ФТП, 44, 995 (2010)
  2. V.V. Mamutin, V.M. Ustinov, N.D. Ilyinskaya, M.V. Baydakova, B.Y. Ber, D.Y. Kasantsev. J. Phys.: Conf. Ser., 291, \#012008 (2011)
  3. A. Tsekoun, R. Go, M. Pushkarsky, M. Razeghi, C.K.N. Patel. PNAS (Proc. of Nat. Acad. of Sci. of USA), 103, 4831 (2006)
  4. M. Razeghi, S. Slivken, Y. Bai, B. Gokden, S.R. Darvish. New J. Phys., 11, 125017 (2009)
  5. В.В. Мамутин, Н.Д. Ильинская, Б.В. Пушный, Р.В. Левин, Д.А. Бедарев. ФТП, 48, 1132 (2014)
  6. R.M. Briggs, C. Frez, C.F. Borgentum, S. Forouhar. Appl. Phys. Lett., 105, 141117 (2014)
  7. D. Hofstetter, M. Beck, T. Aellen, J. Faist. Appl. Phys. Lett., 78, 396 (2001)
  8. C. Gmachl, F. Capasso, D.L. Sivco, A.Y. Cho. Rep. Prog. Phys., 64, 1533 (2001)
  9. А.В. Бабичев, Н.А. Пихтин, И.С. Тарасов, Е.В. Никитина, А.Н. Софронов, Д.А. Фирсов, Л.Е. Воробьев, И.И. Новиков, Л.Я. Карачинский, А.Ю. Егоров. ФТП, 50, 1320 (2016)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.