"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Морфология, оптические и адсорбционные свойства слоев оксидов меди, осажденных из растворов комплексных соединений
Матюшкин Л.Б. 1, Решетникова А.А.1, Андронов А.О.1, Афоничева П.К. 1, Мякин С.В. 2, Пермяков Н.В. 1, Мошников В.А. 1
1Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина), Санкт-Петербург, Россия
2Санкт-Петербургский государственный технологический институт (Технический университет), Санкт-Петербург, Россия
Email: leva.matyushkin@gmail.com, vamoshnikov@mail.ru
Поступила в редакцию: 17 ноября 2016 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 2017 г.

Рассмотрена методика синтеза газочувствительных слоев оксидов меди, полученных путем послойного осаждения на стеклянные и полимерные подложки по реакции окисления молекул аммиачного комплекса меди перекисью водорода. Слои, синтезированные при различном количестве циклов наслаивания, исследованы методами атомно-силовой микроскопии и спектроскопии пропускания (300-1000 нм). Форма спектров указывает на смешанный характер оксида с преобладанием оксида меди (I) Cu2O с соответствующей шириной запрещенной зоны 2.1 эВ. Слои обладают сплошной зернистой структурой. Определенная химическим индикаторным методом поверхностная концентрация бренстедовских кислотных центров адсорбции с pKa~ 2.5 (ОН-групп кислотного характера) составляет для исходных пленок 560 мкмоль/м2 и возрастает в три раза при термическом воздействии 80oC в течение 30 мин. Полученные результаты представляют интерес в использовании описанной технологии для создания активных слоев оксида меди в газочувствительных сенсорах, работающих при комнатной температуре. DOI: 10.21883/FTP.2017.05.44417.8452
  1. V. Dhanasekaran. Thin Sol. Films, 520 (21), 6608 (2012)
  2. Т.А. Моисеева. Инженерный вестн. Дона, 23 (4), (2012)
  3. S.T. Shishiyanu, T.S. Shishiyanu, O.I. Lupan. Sensors Actuators B: Chemical, 113 (1), 468 (2006)
  4. J. Chen. J. Phys. Chem. C, 112 (41), 16017 (2008)
  5. Chowdhuri. J. Appl. Phys., 92 (4), 2172 (2004)
  6. К. Танабе. Твердые кислоты и основания (М, Мир, 1973)
  7. С.С. Карпова, В.А. Мошников, С.В. Мякин, Е.С. Коловангина. ФТП, 47 (3), 369 (2013)
  8. H.M. Pathan, C.D. Lokhande. Bulletin Mater. Sci., 27 (2), 85 (2004)
  9. M. Ristov. Thin Sol. Films, 149 (1), 65 (1987)
  10. M. Nair. Appl. Surf. Sci., 150 (1), 143 (1999)
  11. I. Truijen, M.K. Van Bael, H. Van den Rul, J. D'Haen, J. Mullens. J. of Sol-Gel Science and Technology, 41 (1), 43 (2007)
  12. Р. Chand, А. Gaur, А. Kumar. Superlattices and Microstr., 60, 129 (2013)
  13. Z. Yang. J. Sol. St. Chem., 180 (4), 1390 (2007)
  14. Y. Gulen. Ceramics Intern., 39 (6), 6475 (2013)
  15. Ю.В. Ваганова, В.Р. Миролюбов, С.В. Катышев, А.В. Ищенко, Е.О. Клюкина. Современные проблемы науки и образования, 3, 817 (2014)
  16. Л.Б. Матюшкин, Д.В. Хондрюков, А.О. Александрова. Патент 156478 RUS (2015)
  17. A.O. Andronov, L.B. Matyushkin, D.V. Hondryukov. Proc. IEEE NW Russia Young Researchers in Electrical and Electronic Engineering Conference (Saint-Petersburg, Russia, 2016), p. 19
  18. С.С. Карпова, В.А. Мошников, А.И. Максимов, С.В. Мякин, Н.Е. Казанцева. ФТП, 47 (8), 1022 (2013)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.