"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Морфология, оптические и адсорбционные свойства слоев оксидов меди, осажденных из растворов комплексных соединений
Матюшкин Л.Б. 1, Решетникова А.А.1, Андронов А.О.1, Афоничева П.К. 1, Мякин С.В. 2, Пермяков Н.В. 1, Мошников В.А. 1
1Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина), Санкт-Петербург, Россия
2Санкт-Петербургский государственный технологический институт (Технический университет), Санкт-Петербург, Россия
Email: leva.matyushkin@gmail.com, vamoshnikov@mail.ru
Поступила в редакцию: 17 ноября 2016 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 2017 г.

Рассмотрена методика синтеза газочувствительных слоев оксидов меди, полученных путем послойного осаждения на стеклянные и полимерные подложки по реакции окисления молекул аммиачного комплекса меди перекисью водорода. Слои, синтезированные при различном количестве циклов наслаивания, исследованы методами атомно-силовой микроскопии и спектроскопии пропускания (300-1000 нм). Форма спектров указывает на смешанный характер оксида с преобладанием оксида меди (I) Cu2O с соответствующей шириной запрещенной зоны 2.1 эВ. Слои обладают сплошной зернистой структурой. Определенная химическим индикаторным методом поверхностная концентрация бренстедовских кислотных центров адсорбции с pKa~ 2.5 (ОН-групп кислотного характера) составляет для исходных пленок 560 мкмоль/м2 и возрастает в три раза при термическом воздействии 80oC в течение 30 мин. Полученные результаты представляют интерес в использовании описанной технологии для создания активных слоев оксида меди в газочувствительных сенсорах, работающих при комнатной температуре. DOI: 10.21883/FTP.2017.05.44417.8452
  • V. Dhanasekaran. Thin Sol. Films, 520 (21), 6608 (2012)
  • Т.А. Моисеева. Инженерный вестн. Дона, 23 (4), (2012)
  • S.T. Shishiyanu, T.S. Shishiyanu, O.I. Lupan. Sensors Actuators B: Chemical, 113 (1), 468 (2006)
  • J. Chen. J. Phys. Chem. C, 112 (41), 16017 (2008)
  • Chowdhuri. J. Appl. Phys., 92 (4), 2172 (2004)
  • К. Танабе. Твердые кислоты и основания (М, Мир, 1973)
  • С.С. Карпова, В.А. Мошников, С.В. Мякин, Е.С. Коловангина. ФТП, 47 (3), 369 (2013)
  • H.M. Pathan, C.D. Lokhande. Bulletin Mater. Sci., 27 (2), 85 (2004)
  • M. Ristov. Thin Sol. Films, 149 (1), 65 (1987)
  • M. Nair. Appl. Surf. Sci., 150 (1), 143 (1999)
  • I. Truijen, M.K. Van Bael, H. Van den Rul, J. D'Haen, J. Mullens. J. of Sol-Gel Science and Technology, 41 (1), 43 (2007)
  • Р. Chand, А. Gaur, А. Kumar. Superlattices and Microstr., 60, 129 (2013)
  • Z. Yang. J. Sol. St. Chem., 180 (4), 1390 (2007)
  • Y. Gulen. Ceramics Intern., 39 (6), 6475 (2013)
  • Ю.В. Ваганова, В.Р. Миролюбов, С.В. Катышев, А.В. Ищенко, Е.О. Клюкина. Современные проблемы науки и образования, 3, 817 (2014)
  • Л.Б. Матюшкин, Д.В. Хондрюков, А.О. Александрова. Патент 156478 RUS (2015)
  • A.O. Andronov, L.B. Matyushkin, D.V. Hondryukov. Proc. IEEE NW Russia Young Researchers in Electrical and Electronic Engineering Conference (Saint-Petersburg, Russia, 2016), p. 19
  • С.С. Карпова, В.А. Мошников, А.И. Максимов, С.В. Мякин, Н.Е. Казанцева. ФТП, 47 (8), 1022 (2013)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.