"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Наноразмерные пленки Cu2O: формирование методом ВЧ-магнетронного распыления, исследование структурных и оптических свойств
Кудряшов Д.А.1, Гудовских А.С.1,2, Бабичев А.В.3,4,5, Филимонов А.В.3, Можаров А.М.1, Агекян В.Ф.6, Борисов Е.В.6, Серов А.Ю.6, Философов Н.Г.6
1Санкт-Петербургский национальный исследовательский Академический университет Российской академии наук, Санкт-Петербург, Россия
2Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина), Санкт-Петербург, Россия
3ООО "Коннектор Оптикс", Санкт-Петербург, Россия
4Санкт-Петербургский национальный исследовательский университет информационных технологий, механики и оптики (Университет ИТМО), Санкт-Петербург, Россия
5Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
6Санкт-Петербургский государственный университет, Санкт-Петербург, Россия
Email: kudryashovda@spbau.ru
Поступила в редакцию: 10 мая 2016 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 2016 г.

Методом магнетронного распыления сформированы наноразмерные слои оксида меди (I) на стеклянных и кремниевых подложках при комнатной температуре в бескислородной среде и проведены исследования их структурных и оптических свойств. Показано, что на кремниевой подложке происходит формирование оксида меди с меньшей разупорядоченностью, нежели на стекле, это подтверждается большей интенсивностью и меньшей полушириной рефлексов дифрактометрической кривой. Наибольшая интенсивность рефлексов дифрактометрической кривой наблюдается для пленок Cu2O, выращенных на кремнии при мощности магнетрона 150 Вт. Спектральная зависимость коэффициентов поглощения и пропускания этих же пленок Cu2O согласуется с известными зависимостями для объемных кристаллов. В рамановских спектрах пленок идентифицированы фононы, соответствующие кристаллической решетке кубических кристаллов Cu2O. DOI: 10.21883/FTP.2017.01.8318
  1. H. Wayne Richardson. Copper Compounds in Ullmann's Encyclopedia of Industrial Chemistry (Weinheim, Wiley-VCH, 2002)
  2. Yun Seog Lee, Mark T. Winkler, Sin Cheng Siah, Riley Brandt, Tonio Buonassisi. Appl. Phys. Lett., 98, 192115 (2011).
  3. Tadatsugu Minami, Toshihiro Miyata, Yuki Nishi. Sol. Energy Mater. \& Solar Cells, 147, 85 (2016)
  4. Tadatsugu Minami, Toshihiro Miyata, Yuki Nishi. Thin Sol. Films, 559, 105 (2014)
  5. D.A. Kudryashov, A.S. Gudovskikh. Book of abstracts E-MRS Spring Meeting 2015, Lille, France, 11-15 May 2015
  6. Tadatsugu Minami, Yuki Nishi, Toshihiro Miyata, Jun-ichi Nomoto. Appl. Phys. Express, 4, 062301 (2011)
  7. Y. Sun, K. Rivkin, J. Chen, J.D. Ketterson, P. Markworth, R.P. Chang. Phys. Rev. B, 66, 245315 (2002)
  8. R. Subba Reddy, K. Radhamma, A. Sivasankar Reddy, S. Uthanna. Adv. Mater. Lett., 6, 834 (2015)
  9. JCPDS --- International Centre for Diffraction Data. Powder Difraction File \#05-0667, 1996
  10. V. Balkanski, V.A. Nusimovici, J. Reydellet. Sol. St. Commun., 7, 815 (1969)
  11. A. Compaan, H.Z. Commins. Phys. Rev. B, 6, 4753 (1972)
  12. P.Y. Yu, Y.R. Shen, Y. Petroff. Sol. St. Commun., 12, 973 (1973)
  13. S.P.S. Porto, P.F. Williams. Phys. Rev. B, 8, 1782 (1973)
  14. P.Y. Yu, Y.R. Shen. Phys. Rev. Lett., 32, 376 (1974).

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.